主题:【讨论】磷烷检测方法

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磷烷可以采用气相色谱法进行检测,用气相色谱法分析磷烷(PH3)的含量.当采用热导池为检测器,氢为载气,Porapak—Q型填料的色谱柱,在严格控制载气流速,色谱柱温度和热导池温度的条件下,可测定出以H2,N2,Ar,He为底气的混合气中PH3的含量,分析结果的相对标准偏差小于5%.https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=5e3b8eaf55a61f5541c9fc194a27eb05&site=xueshu_se
深蓝
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