主题:【已应助】安捷伦5975B关机一周,清洗离子源后,无法抽真空,涡轮泵转速为3

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ashley
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求助!安捷伦5975B关机一周,清洗离子源后,无法抽真空,涡轮泵转速为3!是否是涡轮泵故障还是说漏气了?
最佳答案:通标小菜鸟回复于2021/04/15
涡轮泵的正常运转与否与前级机械泵息息相关,仪器开机启动,前级泵预先抽至一定真空度,然后分子涡轮泵启动。楼主首先确保前级泵是否运转正常,检查泵油液面高度是否足够。卸掉真空,重新检查真空腔是否关闭到位,密封圈按紧确保不漏气,然后重新抽真空看看能否抽上。
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xiaogumd11
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清洗离子源后,检查一下真空腔是否安装好,密封圈是否安装好。
通标小菜鸟
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涡轮泵的正常运转与否与前级机械泵息息相关,仪器开机启动,前级泵预先抽至一定真空度,然后分子涡轮泵启动。楼主首先确保前级泵是否运转正常,检查泵油液面高度是否足够。卸掉真空,重新检查真空腔是否关闭到位,密封圈按紧确保不漏气,然后重新抽真空看看能否抽上。
yxwang1990
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PAEs
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m3128509
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安平
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既然维护操作之后,发生故障。

那么建议再次检查和维护一下系统,是否存在真空密封不良问题或者维护之后存在安装不良的问题
lzq168
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