主题:【已应助】关于7697A-7890B中7697A压力高的故障

浏览 |回复24 电梯直达
大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:这个不好测量吧,EPC控制的是出口压力,在软件上设置多少流量与压力,EPC可以控制。
你回答的比我想的深入,我最初的想法是,在流路最简单的待机状态,以钢气瓶出来的载气为起点,经过EPC,到顶空的传感器,再到六通阀、传输线,最后到进样口,把这个气路分成几小段,这几小段里载气压力或流量是怎么变化的,是变大了还是变小了还是稳定不变?想了解下是一个什么样的变化趋势?
大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 大兵兵(v2932653) 发表:你回答的比我想的深入,我最初的想法是,在流路最简单的待机状态,以钢气瓶出来的载气为起点,经过EPC,到顶空的传感器,再到六通阀、传输线,最后到进样口,把这个气路分成几小段,这几小段里载气压力或流量是怎么变化的,是变大了还是变小了还是稳定不变?想了解下是一个什么样的变化趋势?
我的理解是这样的不知道对不对,假设我的要求是进样口流量是100ml/min,钢气瓶出来的压力应该是最高的(假设是1000),先经过EPC后,出口流量降到700,到顶空传感器后,出口流量降到300,再经过六通阀、传输线,到进样口时流量刚好到100。??
大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:这个不好测量吧,EPC控制的是出口压力,在软件上设置多少流量与压力,EPC可以控制。
我的理解是这样的,不知道对不对,假设要求进样口流量是100ml/min。钢气瓶出来的流量定为1000,先经过EPC后流量降到700,到顶空传感器后流量降到300,再经过六通阀、传输线,最后到进样口流量刚好是100??
xiaoheihei
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 大兵兵(v2932653) 发表:

请教一个纯理论的知识: 

1、以7697A-7890B,7697A的载气从7890B的EPC接出为例,假设待机时按“柱流量+分流流量”共100ml/min计算(以柱流速1.5ml/min估算,分流比在65:1左右),隔垫吹扫流量小暂忽略,尾吹流量走检测器EPC不算进去。

2、我把从钢气瓶到进样口分成4个气路段

a、氮气载气瓶出来的压力在0.6MPa左右,也就是145psi,钢气瓶连接到GC的EPC这段距离,称为0#段气路,

b、GC的EPC到7697A的压力或流量传感器这段距离,称为1#段气路,

c、7697A的压力或流量传感器经六通阀,到传输线出口这段距离,称为2#段气路,

d、进样口(衬管)

问题请教:

1、这几个气路段压力或流量是怎么变化的?是不是钢气瓶压力最高,后面逐渐递减的吗?还是有的气路段是降低,有的气路段是不变?

0#段气路——钢瓶减压表输出压力较大,高压气体流速较慢,减压阀输出0.6MPa,经过3mm或者1/8英寸管线,内径约2mm经过净化器,假如用气阶段,流量较大时,EPC模块入口压力略低于减压阀的压力。


1#段气路——分流进样口EPC输出到7697A载气进口,7890B分流进样口此时压力显示为顶空传输线送入进样口的气体的压力,7693自身也有EPC,此时GC载气控制模式下,估计比例阀全开,此时7693压力显示应接近的。

2#段气路——与1段气路接近的。

2、如果各个气路段的压力不一样,那压力或流量传感器显示的数据是进口的压力还是出口的压力?

GC流量控制模式下,GC进样口显示流量是进样口进入的总流量,和进样口腔体内部压力。7693显示的压力是7693输入载气输入压力,流量应该没有流量传感器,只有加压气设置了流量传感器。

大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 xiaoheihei(xiaoheihei) 发表:
感谢,非常受用。
langyabeilei
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
分流比100:1,确实有点大,顶空压力测试时的那个瓶子试过没有,有没有变化,是否报警?我觉得得从六通阀和进样口两个地方找原因。
大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 langyabeilei(langyabeilei) 发表:分流比100:1,确实有点大,顶空压力测试时的那个瓶子试过没有,有没有变化,是否报警?我觉得得从六通阀和进样口两个地方找原因。
蓝瓶测试,提示泄露测试通过。
大兵兵
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
原文由 xiaoheihei(xiaoheihei) 发表:
老师:这几天我做了一些实验,一、按低分流比检测,可以正常出峰,暂认为传输线没问题,二、断开顶空连接,恢复载气直接接进样口的原始管线,将分流比分别设10:1,50:1,120:1,进样口压力始终没有变化,基本排除GC的问题。
若是顶空的问题,请教老师,我应该从什么方向排查?出现这种情况的有哪些原因?附图是7697A安装图
我能想到的,1、图中载气的PS压力传感器坏了,2、图中的SV2载气切换阀坏了(切换阀是干什么用的,工作原理是什么,请老师讲解讲解),3、顶空气路堵,包括管路、接头、六通阀,GC的EPC自动识别并加压提高流速来保证进样口的压力或流量达到要求。
该帖子作者被版主 zyl33678985积分, 2经验,加分理由:发图有奖
Ins_ccc65cef
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵
zyl3367898
结帖率:
100%
关注:0 |粉丝:0
新手级: 新兵