主题:【已应助】【求助】出现了一个馒头峰和一个找不到对应成分的尖峰,该怎么分析呢?

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Insm_1cfb0672
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在硅片上沉积了个CrSiN薄膜,结果显示了一个馒头峰和一个尖峰,但是馒头峰能对应上的成分特别多,而且尖峰找不到对应的成分,用的掠入射xrd得到图谱。事关小弟毕业,如果能解决必将感激涕零!

衍射峰如下:

附件:
最佳答案:iangie回复于2021/06/30
尖峰是Si 311峰
001 Si基板的311峰很容易出现在~2度左右掠入射的几何
如果要避免这个基板峰  你可以把样品斜着放 例如斜个30度再测  保证这个Si 311基板峰就不见了

馒头峰是你的样品峰 要么是纳米晶 要么结晶度很差
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iangie
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尖峰是Si 311峰
001 Si基板的311峰很容易出现在~2度左右掠入射的几何
如果要避免这个基板峰  你可以把样品斜着放 例如斜个30度再测  保证这个Si 311基板峰就不见了

馒头峰是你的样品峰 要么是纳米晶 要么结晶度很差
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原文由 iangie(iangie) 发表:
尖峰是Si 311峰
001 Si基板的311峰很容易出现在~2度左右掠入射的几何
如果要避免这个基板峰  你可以把样品斜着放 例如斜个30度再测  保证这个Si 311基板峰就不见了

馒头峰是你的样品峰 要么是纳米晶 要么结晶度很差
原来是这样,感谢