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主题：【已应助】气体流量突然上不去了，检查也没漏气，求助各位老师

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我有三层腹肌
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2021/8/17 9:37:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaoheihei(xiaoheihei) 发表:输入压力正常，ECD检测器EPC也正常，估计还是FPD的EPC故障了，可以拆吹FPD的EPC出口管路，正常开气，实测氮氢空出口的气流量，没有气或者流量很低，就是比例阀或者气阻故障，自己有能力就修，没有能力报修买一个EPC模块或者找FID的旧的模块代替也行。不找agilent也可以找第三方搞到配件都能修理。
我把图中三个黄色的拆下来FID
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我有三层腹肌
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2021/8/17 9:39:00 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaoheihei(xiaoheihei) 发表:输入压力正常，ECD检测器EPC也正常，估计还是FPD的EPC故障了，可以拆吹FPD的EPC出口管路，正常开气，实测氮氢空出口的气流量，没有气或者流量很低，就是比例阀或者气阻故障，自己有能力就修，没有能力报修买一个EPC模块或者找FID的旧的模块代替也行。不找agilent也可以找第三方搞到配件都能修理。
我把图中三个黄色的，好的FID的上的拆了下来按在了FPD的板子上，试了，还是一样的问题，气体完全没有
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我有三层腹肌
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2021/8/17 9:43:30 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 我有三层腹肌(Insm_1415fe5c) 发表:好的，谢谢，气体是完全没有。设定值100，实际只有零点几……
排查了，进样口没有漏气
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我有三层腹肌
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2021/8/17 10:24:00 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaogumd11(v3247983) 发表:上面老师说的如果排查了，就把连接仪器的氮氢空三路管路卸开，注意是在7890a后上部，检查一下气压力
是把管路断开是吧？三个气体流量为负的了
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Ins_6ed73db6
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2021/8/17 11:54:19 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了了解一下
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lhl
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2021/8/17 12:49:01 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是EPC电路板上的问题
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xiaoheihei
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2021/8/17 15:24:34 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 我有三层腹肌(Insm_1415fe5c) 发表:
我把图中三个黄色的，好的FID的上的拆了下来按在了FPD的板子上，试了，还是一样的问题，气体完全没有
比例阀替换应该没啥的，基本都是小流量的比例阀，还是没有气，不好说，有可能软件配置识别问题，进口有过滤筛板，接入比例阀，比例阀座里面藏了气阻，气阻堵塞就没气，可以测定一下比例阀电压一般在几V左右，不行就自己通12-24VDC，通气，看出口是否有气，堵了，只能换模块，气阻你自己基本上拆不了，也买不到核心部件，不愿意花钱买新的，就找第三方买配件也行的，原来买是2-3万一个吧。没有堵就是电路或者软件控制问题。社区有agilent售后在里面的，应该知道维修秘籍的，一般不会公开商业秘密，你自己权衡一下。
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2021/8/17 15:30:11 Last edit by xiaoheihei
zyl3367898
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2021/8/17 23:05:46 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果EPC没问题，软件设置的有问题吗？
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xiaoheihei
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2021/8/17 23:12:28 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:
如果EPC没问题，软件设置的有问题吗？
EPC模块里面藏了模块识别地址与设备信息，开机启动就能识别初始化模块，能识别正常，控制还不行就是epc模块比例阀电路自己问题，排除比例阀和气阻堵了。
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dadgoh
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2021/8/18 7:42:58 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
换柱子最好同时换密封石墨垫，并确保柱进口及出口密封良好。当载气压力正常了，仪器才能开启其他辅助气。所以，还是先检查一下柱两端密封。
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