主题:【已应助】气体流量突然上不去了,检查也没漏气,求助各位老师

浏览0 回复25 电梯直达
我有三层腹肌
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原文由 dadgoh(dadgoh) 发表:换柱子最好同时换密封石墨垫,并确保柱进口及出口密封良好。当载气压力正常了,仪器才能开启其他辅助气。所以,还是先检查一下柱两端密封。
学习了,谢谢
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原文由 xiaoheihei(xiaoheihei) 发表: EPC模块里面藏了模块识别地址与设备信息,开机启动就能识别初始化模块,能识别正常,控制还不行就是epc模块比例阀电路自己问题,排除比例阀和气阻堵了。
都换了还是不行,感觉就是电路板问题了,虽然识别了有功能,但是电路板上小绿灯没有亮
zyl3367898
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压力没有问题,EPC没有问题,那只能是电路板有问题。
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原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:压力没有问题,EPC没有问题,那只能是电路板有问题。
是电路板坏了……换了个模块就好了
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zyl3367898
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