主题:【已应助】SEM尺寸测量原理

浏览 |回复3 电梯直达
huangtao0307
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哪位大神可以科谱一下SEM尺寸测量原理?
金相显微镜是固定放大倍率下通过采集像素多少定标。
但SEM并没有这样的操作,软件是如何实际任意放大倍率下量测的??
推荐答案:SEMDriver回复于2021/09/05
设备会用标样校准特定条件,其他条件都是通过计算补偿
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SEMDriver
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设备会用标样校准特定条件,其他条件都是通过计算补偿
It is me!
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原文由 SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:设备会用标样校准特定条件,其他条件都是通过计算补偿
是的,应该是通过标样校准的。
dahua1981
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