主题:【已应助】日立4800能谱面扫分辨率低是什么原因?

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扫描兔
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电镜型号是日立4800,能谱是EMAX(需要加液氮) 不知道为什么能谱面扫的分辨率很低,是因为能谱型号太老的原因吗?图一是日立的面扫,图二是蔡司热场发射?牛津能谱的面扫
推荐答案:SEMDriver回复于2021/10/09
你这个与分辨率没啥关系  看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps  ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致
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SEMDriver
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你这个与分辨率没啥关系  看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps  ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致
扫描兔
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原文由 SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:你这个与分辨率没啥关系      看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps    ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致
日立的是 20KV 束流20,WD12mm,Probe Current 是Norm,蔡司的是另外一个公司的 只是拿来对比
扫描兔
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原文由 SEMDriver(Insm_5225054a) 发表:你这个与分辨率没啥关系      看哈你在4800时的束流大小,WE'D, 对应能谱cps    ,另外两个能谱的晶体面积及型号是否一致
这两个能谱不是一个型号的,蔡司的是热场发射,日立的是冷场发射
Ins_df409723
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牛津的那个估计是个很好的电制冷eds  液氮制冷的没法比

而且冷场电镜电流小  做eds  打点还行  面扫就太为难它了
扫描兔
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原文由 Ins_df409723(Ins_df409723) 发表:牛津的那个估计是个很好的电制冷eds      液氮制冷的没法比而且冷场电镜电流小    做eds    打点还行    面扫就太为难它了
确实 这个能谱太老了,不过我大概调试了一下,做完面扫之后 还需要在电脑上再调对比度和亮度才行