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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：请问电子探针显微镜和扫描电镜加能谱仪有什么区别?

浏览0 回复13 电梯直达
jhsu9999
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发表于：2004/11/12 16:27:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被天黑请闭眼设置为精华；
请教各位大虾:1.电子探针显微镜\扫描电镜加能谱仪有什么区别?各自应用的场合是什么?
2.顺便再请教一下:环扫电镜\原子力显微镜\透射电镜的区别和应用场合
谢谢先!
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sysmith
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2004/11/13 18:42:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.电子探针即EPMA(电子探针显微分析)，最初的目的是以电子束为探测源来分析样品中微区的化学成分，一般配备波谱仪。而扫描电镜SEM，其最初目的是为了观察样品表面形貌，一般配备能谱仪。最近的发展，电子探针上也可配备能谱仪，扫描电镜上也可配备波谱仪，即在一台EPMA或SEM上可以同时配备WDS,EDS,EBSD.从仪器构造上，EPMA和SEM并不本质上的区别。
2.环扫ESEM是为了适应不导电、含水等样品分析的需要而发展起来的，如生物样品。与常规SEM相比，ESEM可以在低真空下使用。如FEI公司的XL系列，ZEISS公司的EVO系列扫描电镜。通常要另外配备低真空二次电子探头。
3.透射电镜TEM观察的样品是薄样品（厚度约200um），有成像模式和衍射模式两种工作方式。可配备EDS和EELS（电子能量损失谱），用于分析微区形貌、成分、晶体结构、晶体缺陷等。但薄样品制备较为困难，通常先将样品减薄到500um（用不用的砂纸），在用离子减薄到合适的厚度（如用离子束击穿样品，在孔的附近区域的厚度即可符合分析要求）。
4.至于原子力显微镜，广泛意义上来说是扫描探针显微镜SPM，其原理是利用探针和样品之间的原子相互作用力，电磁力等来分析样品的表面状态或其电磁畴结构等。
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xrfsply
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2004/11/14 10:13:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说的好棒哎！
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RENXIN
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2004/11/16 17:08:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SYSMITH朋友讲的是好，但是较笼统， 在下做一些补充，请各位指教。
1，电子探针显微镜 (SEPM)之所以用来做波谱成分分析， 是由於他的电子束要比一般的  扫描电镜 稳定的多的缘故，通过提高硬体结构的强度和在镜筒高端使用离子甭，SEPM的真空可以达到E-007TORR，要比SEM的E-005TORR强的多，因此电子束也稳定的多， 而波谱分析需要极稳定的电子束， 这也是为什么一般的SEM 不配备波谱议的原因。
我们可以理解SEPM是较SEM 高端的产品，但是使用范围要较SEM小。
从仪器表面构造上，两台仪器大体类似， 但通过仔细观察， SEPM镜筒高端有黑色永磁体包裹的    离子甭， 而且系统的减震设备也较高级，这是一般的SEM所不具备的。
还有，SEPM只会使用钨丝的发射源， 因为他可以从钨发射源得到很强壮的电子流，而这是冷或热场发射源所作不到的。
2，环扫ENVIROMENTAL SEM，简称ESEM是 FEI公司的专用名称和品牌，原因是他  们第一个注册的。
所有FEI公司出品的电镜几乎全部配备标准的环扫功能， 不论是在XL系列或是QUANTA系列，只有少数型号是高真空模式的。
ZEISS公司的EVO标准配备只有高真空模式，EP(EXTENDED PRESSURE)或XVP(EXTRA VIRIABLE PRESSURE)模式是选配，而且他们不允许使用环扫的品牌，即使功能完全一样！他们较可变压力模式。
还有FEI的XL系列已经停产，现在全部叫QUANTA，ZEISS 得EVO是原LEO1400的升级版。



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RENXIN
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2004/11/16 17:20:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1，透射电镜TEM是不存在环扫或可变压力模式的。
2，原子力显微镜ATOMIC FORCE MICROSCOPE简称AFM，是和电镜完全不同概念的！
AFM不使用电子束，不使用真空，不使用透射或扫描。。。。。。
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spm2004
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2004/11/18 14:48:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描探针显微镜和电镜是完全不同的两类仪器
原理上相差很远
扫描探针显微镜是一个大类的总称
包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜等
最大的特点是通过一个实体的探针与样品表面作用
利用量子力学领域的原理来成像
由于其使用的简易性（可在大气下做样）和相对电镜的价格低廉许多
而且分辨率大大高于电镜
有逐步取代电镜的主导地位的趋势

目前带高真空系统的顶级厂家为：德国Omicron和日本电子JEOL
普通系统的先进厂家为：美国DI、日本精工、MI等
国内最具代表厂家为：中科院化学所本原纳米仪器公司

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hansyangts
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2005/5/18 0:55:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 RENXIN 发表:
AFM不使用电子束，不使用真空，不使用透射或扫描。。。。。。


AFM是SPM的一种，原理上决定了一定需要扫描的工作模式。
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semuser
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2005/5/25 16:07:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
环扫是一家小公司搞出来的，飞利浦电镜收购了它，FEI又收购了飞利浦电镜，因为注册了，所以其他厂家不能用。
现在用的最多的还是低真空
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shxie
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2005/5/28 11:07:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 semuser 发表:
环扫是一家小公司搞出来的，飞利浦电镜收购了它，FEI又收购了飞利浦电镜，因为注册了，所以其他厂家不能用。
现在用的最多的还是低真空

哦？哪家公司？
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sshlxf
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2005/6/12 21:51:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 spm2004 发表:
扫描探针显微镜和电镜是完全不同的两类仪器
原理上相差很远
扫描探针显微镜是一个大类的总称
包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜等
最大的特点是通过一个实体的探针与样品表面作用
利用量子力学领域的原理来成像
由于其使用的简易性（可在大气下做样）和相对电镜的价格低廉许多
而且分辨率大大高于电镜
有逐步取代电镜的主导地位的趋势

目前带高真空系统的顶级厂家为：德国Omicron和日本电子JEOL
普通系统的先进厂家为：美国DI、日本精工、MI等
国内最具代表厂家为：中科院化学所本原纳米仪器公司


SPM2004的说法也太过了些吧,原子力显微镜与扫描电镜的用途和特长还是不一样的,怎么可能相互替代呢?!只不过商业宣传罢了,蒙蒙外行
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shxie
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2005/6/13 0:11:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sshlxf 发表:
SPM2004的说法也太过了些吧,原子力显微镜与扫描电镜的用途和特长还是不一样的,怎么可能相互替代呢?!只不过商业宣传罢了,蒙蒙外行

嗯，这个的确是宣传，好在有扫描探针版，他可以到那里去发挥了
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