主题:请问电子探针显微镜和扫描电镜加能谱仪有什么区别?

浏览0 回复13 电梯直达
jhsu9999
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该帖子已被天黑请闭眼设置为精华;
请教各位大虾:1.电子探针显微镜\扫描电镜加能谱仪有什么区别?各自应用的场合是什么?
2.顺便再请教一下:环扫电镜\原子力显微镜\透射电镜的区别和应用场合
谢谢先!
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sysmith
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1.电子探针即EPMA(电子探针显微分析),最初的目的是以电子束为探测源来分析样品中微区的化学成分,一般配备波谱仪。而扫描电镜SEM,其最初目的是为了观察样品表面形貌,一般配备能谱仪。最近的发展,电子探针上也可配备能谱仪,扫描电镜上也可配备波谱仪,即在一台EPMA或SEM上可以同时配备WDS,EDS,EBSD.从仪器构造上,EPMA和SEM并不本质上的区别。
2.环扫ESEM是为了适应不导电、含水等样品分析的需要而发展起来的,如生物样品。与常规SEM相比,ESEM可以在低真空下使用。如FEI公司的XL系列,ZEISS公司的EVO系列扫描电镜。通常要另外配备低真空二次电子探头。
3.透射电镜TEM观察的样品是薄样品(厚度约200um),有成像模式和衍射模式两种工作方式。可配备EDS和EELS(电子能量损失谱),用于分析微区形貌、成分、晶体结构、晶体缺陷等。但薄样品制备较为困难,通常先将样品减薄到500um(用不用的砂纸),在用离子减薄到合适的厚度(如用离子束击穿样品,在孔的附近区域的厚度即可符合分析要求)。
4.至于原子力显微镜,广泛意义上来说是扫描探针显微镜SPM,其原理是利用探针和样品之间的原子相互作用力,电磁力等来分析样品的表面状态或其电磁畴结构等。
xrfsply
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RENXIN
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SYSMITH朋友讲的是好,但是较笼统, 在下做一些补充,请各位指教。
1,电子探针显微镜 (SEPM)之所以用来做波谱成分分析, 是由於他的电子束要比一般的  扫描电镜 稳定的多的缘故,通过提高硬体结构的强度和在镜筒高端使用离子甭,SEPM的真空可以达到E-007TORR,要比SEM的E-005TORR强的多,因此电子束也稳定的多, 而波谱分析需要极稳定的电子束, 这也是为什么一般的SEM 不配备波谱议的原因。
我们可以理解SEPM是较SEM 高端的产品,但是使用范围要较SEM小。
从仪器表面构造上,两台仪器大体类似, 但通过仔细观察, SEPM镜筒高端有黑色永磁体包裹的    离子甭, 而且系统的减震设备也较高级,这是一般的SEM所不具备的。
还有,SEPM只会使用钨丝的发射源, 因为他可以从钨发射源得到很强壮的电子流,而这是冷或热场发射源所作不到的。
2,环扫ENVIROMENTAL SEM,简称ESEM是 FEI公司的专用名称和品牌,原因是他  们第一个注册的。
所有FEI公司出品的电镜几乎全部配备标准的环扫功能, 不论是在XL系列或是QUANTA系列,只有少数型号是高真空模式的。
ZEISS公司的EVO标准配备只有高真空模式,EP(EXTENDED PRESSURE)或XVP(EXTRA VIRIABLE PRESSURE)模式是选配,而且他们不允许使用环扫的品牌,即使功能完全一样!他们较可变压力模式。
还有FEI的XL系列已经停产,现在全部叫QUANTA,ZEISS 得EVO是原LEO1400的升级版。



RENXIN
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1,透射电镜TEM是不存在环扫或可变压力模式的。
2,原子力显微镜ATOMIC FORCE MICROSCOPE简称AFM,是和电镜完全不同概念的!
AFM不使用电子束,不使用真空,不使用透射或扫描。。。。。。
spm2004
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扫描探针显微镜和电镜是完全不同的两类仪器
原理上相差很远
扫描探针显微镜是一个大类的总称
包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜等
最大的特点是通过一个实体的探针与样品表面作用
利用量子力学领域的原理来成像
由于其使用的简易性(可在大气下做样)和相对电镜的价格低廉许多
而且分辨率大大高于电镜
有逐步取代电镜的主导地位的趋势

目前带高真空系统的顶级厂家为:德国Omicron和日本电子JEOL
普通系统的先进厂家为:美国DI、日本精工、MI等
国内最具代表厂家为:中科院化学所本原纳米仪器公司

hansyangts
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原文由 RENXIN 发表:
AFM不使用电子束,不使用真空,不使用透射或扫描。。。。。。


AFM是SPM的一种,原理上决定了一定需要扫描的工作模式。
semuser
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环扫是一家小公司搞出来的,飞利浦电镜收购了它,FEI又收购了飞利浦电镜,因为注册了,所以其他厂家不能用。
现在用的最多的还是低真空
shxie
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原文由 semuser 发表:
环扫是一家小公司搞出来的,飞利浦电镜收购了它,FEI又收购了飞利浦电镜,因为注册了,所以其他厂家不能用。
现在用的最多的还是低真空

哦?哪家公司?
sshlxf
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原文由 spm2004 发表:
扫描探针显微镜和电镜是完全不同的两类仪器
原理上相差很远
扫描探针显微镜是一个大类的总称
包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜等
最大的特点是通过一个实体的探针与样品表面作用
利用量子力学领域的原理来成像
由于其使用的简易性(可在大气下做样)和相对电镜的价格低廉许多
而且分辨率大大高于电镜
有逐步取代电镜的主导地位的趋势

目前带高真空系统的顶级厂家为:德国Omicron和日本电子JEOL
普通系统的先进厂家为:美国DI、日本精工、MI等
国内最具代表厂家为:中科院化学所本原纳米仪器公司


SPM2004的说法也太过了些吧,原子力显微镜与扫描电镜的用途和特长还是不一样的,怎么可能相互替代呢?!只不过商业宣传罢了,蒙蒙外行
shxie
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原文由 sshlxf 发表:
SPM2004的说法也太过了些吧,原子力显微镜与扫描电镜的用途和特长还是不一样的,怎么可能相互替代呢?!只不过商业宣传罢了,蒙蒙外行

嗯,这个的确是宣传,好在有扫描探针版,他可以到那里去发挥了
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