主题:【资料】《FIB在微电子失效分析上的应用》

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eeletters
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朋友提供的资料,主要是讲FIB 在微电子 FA方面的应用。非常全面和经典。另他想了解以下问题:

1.在国内建个失效分析中心怎么样?
2.国内主要IC设计中心有没有FA部门,FIB应用情况如何?
3.国内FAB厂中FIB设备主要是用在in-line还是FA,应用和需要前景如何?是否需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析?
4.FIB在国内8寸厂用得多不?在封装厂用不?

请朋友们讨论下!
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FIB在微电子失效分析上的应用
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Last edit by RENXIN 举报
鱼肉好吃
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我说呢,那么大的标准化系数肯定是有问题了。
鱼肉好吃
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icewine2000
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你的文件讲的介绍用双电子束同时做"切和看",新的FIB都有这样的设计。它是“Introduction to Focused Ion Beams”这本书的第6章,这本书还是挺全面的。
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Last edit by icewine2000
redfish
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1.在国内建个失效分析中心怎么样?
当然不错,但要大笔资金
2.国内主要IC设计中心有没有FA部门,FIB应用情况如何?
IC设计中心有FA部门(很少一两个人),但一般没有FIB,我知道的情况是请别人做,
3.国内FAB厂中FIB设备主要是用在in-line还是FA,应用和需要前景如何?是否需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析?
FAB厂有FA部门,且很强大.一般不需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析
heatwind
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原文由 eeletters 发表:
朋友提供的资料,主要是讲FIB 在微电子 FA方面的应用。非常全面和经典。另他想了解以下问题:

1.在国内建个失效分析中心怎么样?
2.国内主要IC设计中心有没有FA部门,FIB应用情况如何?
3.国内FAB厂中FIB设备主要是用在in-line还是FA,应用和需要前景如何?是否需要单独把片子拿出到外面的FA中心去做分析?
4.FIB在国内8寸厂用得多不?在封装厂用不?

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FIB在微电子失效分析上的应用


这里半导体失效分析的讨论好少啊, 没有做这方面的吗?
sun-guo
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dsj_guilin
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vincent2956
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在8寸厂用的很多,主要是FA用,封装厂不清楚。
vincent2956
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icewine2000,你有全本的资料吗,很想学习一下啊。
tedyli2007
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