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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：扫描电镜的性能对能谱有多大的影响？

浏览0 回复8 电梯直达
daqiang
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发表于：2006/04/17 21:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的扫描电镜性能不是很好，放大倍数不是很高，样品好的话5000倍吧。现在领导想赔个能谱，想了解一下电镜的性能对能谱影响大吗？配个好一些的能谱的话，能不能发挥出能谱的性能？谢谢！！
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2006/4/17 21:27:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜的好坏对能谱的性能当然有影响了。因为能谱是利用了电镜的电子能量信号。再就是如果对微区分析也有影响。倍数低，可以观察和测量的区域范围就大。不过要是做一般的分析影响不会太大，比如粉末或固体样品中的元素成分。所以的看具体情况了。
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xiaomage2005
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2006/4/18 21:52:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
放大倍数越大，SEM图像越清晰，得到的能谱越好，越接近真实的数据
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2006/4/19 8:43:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个观点值得探究
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zemb
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2006/4/19 13:12:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果电镜只是图像倍数不太高的话，对能谱分析不会有太大的影响。X射线分析的空间分辨率对于钢铁材料来说大约为1微米，用太高的放大倍数做能谱分析没有什么意义。
如果电镜性能不是太好，能谱配个一般的就行了，不必追求太高的性能、以及不常用的功能。
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zhengyihao
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2006/4/19 14:32:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaomage2005 发表:
放大倍数越大，SEM图像越清晰，得到的能谱越好，越接近真实的数据



不是吧！我们的电镜做eds时，最多只能到3000倍，工程师也说过做eds只能到几千倍
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skyhunter
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2006/4/19 15:59:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是啊，我了解的情况是：放大倍数和能谱仪的效果并没有什么必然联系，但如果放大倍数太高，会使得测试的局部的成分分析没有什么代表性，当然看你的需求了。
关键是要把电镜的束斑降下来，否则会对能谱的计数率又不好的影响。当然，束斑大了，同样清晰的图像的倍数必然就会降下来了。




原文由 zemb 发表:
如果电镜只是图像倍数不太高的话，对能谱分析不会有太大的影响。X射线分析的空间分辨率对于钢铁材料来说大约为1微米，用太高的放大倍数做能谱分析没有什么意义。
如果电镜性能不是太好，能谱配个一般的就行了，不必追求太高的性能、以及不常用的功能。
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毒菇九剑
sshlxf
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2006/4/23 21:03:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说得很对. 而且5000倍下做能谱其实是很合适的. 放大倍数太高的话, 由于能谱的空间分辨率一般是几个微米左右, 打能谱的意义其实也不是太大了.

我还见过一个钢铁企业的Kyky电镜上配了进口的能谱, 一样能够满足其需求. 因为他们的常用放大倍数就是几千倍.



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奔跑的蜗牛
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2006/5/14 14:12:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其实SEM对EDS的影响主要体现在两方面，一个就是PROBE　CURRENT大小，只有足够大才能得到足够的信息，另一个就是它的稳定性，只有足够稳定才能得到相对准确的结果。
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