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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
由于学习EDS时间不长，现在想起来一个问题，希望得到大牛的解答
EDS测轻元素的%，不是很准确。比如测C的量
那么测O的%可信比C大多少，是不是基本上和C是一样的？
与C不同测量结果有O可以相信，含量多少的可信度和其它超轻元素相当。
另外(这个是主要问题), 在用Mapping时，测元素分布，会不会也因为O元素较轻，使测量结果不准。
Map图是定性分析，可以回答有无、多少，结果可信
比如我想测钢表面的氧化层时，有的地方较厚，有的地方较薄，是不是就有可能明明表面有氧化层，但是EDS的Mapping给的结果是这氧化层下面铁的信息，结果测出来此区是大面积的铁。那是不是说我调整工作电压（降低）就能打得到氧化层的信息了
不会出现这种情况，Map图逐个元素测量，每次只测一个元素。点模式定性/定量分析才会出现你担心的问题
比如说：O和Fe的元子序数差好多，那么这两种元素混大一起是不是会降低测出的误差？
C和Fe(比如说钢铁中含的C), 和这情况不是类似吗？
在一个样品中原子系数比O大的元素都可以激发出O元素的x-射线，这是定量计算模式中所要考虑的问题，对Map分析图影响不大
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