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主题：【求助】今天拍了几张照片 高倍不是很清楚啊 求高手指导

浏览0 回复8 电梯直达
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发表于：2011/09/07 19:05:43 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求高手指导电子束直径大小怎样调
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2011/9/7 19:09:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
光阑 30   
inlens的意思是探测器在镜筒里面？
求高手指教电子束直径在哪个选项里面调?

p.s.15kv 和 25kv 都试过了 都远远不如20kv清晰
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2011/9/7 19:10:08 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你这个是什么物质啊，不知道你要考察什么啊
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2011/9/7 19:35:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个是硅钢 能谱显示中间的亮的东西为氧化铝
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2011/9/7 19:37:23 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知扫描电镜能不能看析出物
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asahi42
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2011/9/7 20:59:49 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关于Zeiss的热场，inlens探头是在电子光路里面的，SE2探头是在电子光路外面，物镜侧面的。所以一般inlens探头的分辨率会比SE2探头高。但是inlens探头的工作需要Beam Booster功能的协助，所以当加速电压超过20kV，Beam Booster功能自动关闭时，inlens探头变不能成像。因此，25kV加速电压下的照片肯定不如20kV的清晰。但是为啥15kV会比20kV差很多，倒是要看了图才能解释了~
觉得照片没有达到热场该有的分辨能力。。。LZ再调调象散？关于束斑，应该在SEM Control对话框中Aperture菜单里面，Aperture Size下拉列表里面选择对应的光阑孔吧~孔径从7.5μm(束流20pA)到120μm(对应束流4~5nA)不等。
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2011/9/7 21:39:54 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
关于Zeiss的热场，inlens探头是在电子光路里面的，SE2探头是在电子光路外面，物镜侧面的。所以一般inlens探头的分辨率会比SE2探头高。但是inlens探头的工作需要Beam Booster功能的协助，所以当加速电压超过20kV，Beam Booster功能自动关闭时，inlens探头变不能成像。因此，25kV加速电压下的照片肯定不如20kV的清晰。但是为啥15kV会比20kV差很多，倒是要看了图才能解释了~
觉得照片没有达到热场该有的分辨能力。。。LZ再调调象散？关于束斑，应该在SEM Control对话框中Aperture菜单里面，Aperture Size下拉列表里面选择对应的光阑孔吧~孔径从7.5μm(束流20pA)到120μm(对应束流4~5nA)不等。


额 原来光阑就是束斑大小啊  感觉还是标准的30比较好 小光阑也试过 并没有太大提高 甚至还略有下降（好像小光阑对比度低一些）
象散消过了 也就只能到这个程度了

我看了看机器验收时的照片 的确分辨率应该可以达到说明书的指标（1nm）  验收用的样品对比度非常高  但是我做钢铁样品始终做不出来这个分辨率
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asahi42
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2011/9/7 21:56:32 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 0603050306(0603050306) 发表:

额 原来光阑就是束斑大小啊  感觉还是标准的30比较好 小光阑也试过 并没有太大提高 甚至还略有下降（好像小光阑对比度低一些）
象散消过了 也就只能到这个程度了

我看了看机器验收时的照片 的确分辨率应该可以达到说明书的指标（1nm）  验收用的样品对比度非常高  但是我做钢铁样品始终做不出来这个分辨率


呵呵，是啊，Zeiss平行光束的一个特点就是没有聚光镜，因此只能通过调节光阑孔径来更改束斑。所有的样品都没法和验收标样比的，标样是碳喷金，对比度大，边界清晰，非常好拍~您可以咨询一下Zeiss的售后，看看能不能到现场指导一下。
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小M
mitchell_dyzy
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2011/9/8 11:01:02 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对照一下，第二张图还有象散

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