原文由 happydfli 发表:原文由 renxin 发表:
FEI的产品目录已经没有 QUANTA200了, W灯丝的改称 INSPECT,FEG的改称 NOVA NANOSEM, 网站上有。
还有软件操作界面也略有更改, 所以不是换汤不换药哟。
不是吧,不是有环扫的200feg嘛,只有带了浸没透镜的才叫NAno系列吧。
原文由 chenjianfeng 发表:原文由 happydfli 发表:原文由 renxin 发表:
FEI的产品目录已经没有 QUANTA200了, W灯丝的改称 INSPECT,FEG的改称 NOVA NANOSEM, 网站上有。
还有软件操作界面也略有更改, 所以不是换汤不换药哟。
不是吧,不是有环扫的200feg嘛,只有带了浸没透镜的才叫NAno系列吧。
正确!
W灯丝的分两种:带ESEM的叫Quanta,分200,400,600;不带ESEM,只带低真空的叫Inspect
场发射分三种:带ESEM的为Quanta FEG;不带ESEM的为Inspect F;前两种都没有浸入式透镜,带有浸入式透镜的为Nova NanoSEM,同时有超高分辨低真空模式,分辨率可达1.8nm@3kV@low vacuum
以上产品统称为Nano E,
其他还有离子束,双束等等。
目前产品与以前的产品相比有相当大的改动,从硬件的光学系统,控制系统,真空系统一直到软件的操作系统都有不小的改动。