主题：【分享】蔡司扫描电镜40年发展历史

蔡司扫描电镜40年发展历史
扫描电子显微镜蔡司三坐标优超2022-07-06 09:29江苏

说到蔡司，可能大家想到的就是镜片镜头等，但你不知道的是在光学、电镜、光刻机、医疗设备、工业测量等多个领域都有着优秀的表现且悠久的历史。
世界*级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国ZEISS公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥），更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：




第一台静电式透射电镜 (1949)

第一台商业化扫描电镜 (1965)

第一台数字化扫描电镜(1985)

第一台场发射扫描电镜(1990)

第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)

第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)

第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)

ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造核心先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯*为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

【核心技术】

蔡司推出的Sigma 500场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计，分辨率超过0.8nm，为您提供优秀分辨率和分析性能科研平台。Sigma500专注于一流的EDS几何学设计使您可以获取精湛的分析性能。借助Sigma直观便捷的四步工作流程可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率。您会比以往更快、更多的获取数据。多种探测器的选择使Sigma500可以精准的匹配您的应用程序：您可以获取微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、涂层和多层的图像信息。

【技术参数】

分辨率：0.8nm@30kV STEM

0.8nm @15 kV

1.4 nm @1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 3pA～20nA（100nA选配） 稳定性优于 0.2%/h

低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP可用）

样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）

样品台：5轴优中心全自动

X＝130mm

Y＝130mm

Z＝50mm

T＝-4°－70°

R＝360°

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

存储分辨率：32k x 24k pixels

【产品应用】

扫描电镜广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。