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主题：钢基体上溅射的2um多层合金膜怎么做断面样品？

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moralist
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发表于：2006/08/05 10:03:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 未解决
多层的合金膜经过热处理，不同的厚度会有不同的相生成，想看一下截面。

问题是我在一块大的低碳钢基片上溅射膜的尺度仅为4mm*4mm*2um，要做这么小位置的SEM断面样品怎么做啊？以前在Si基片上很容易，现在钢基片那么硬，而膜又比较薄，真想不出什么好办法。

各位帮忙想想办法吧。

谢谢！
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2006/8/7 17:11:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只能镶嵌了，做截面看了
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moralist
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2006/8/7 22:09:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就怕一磨把膜给磨掉了。
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sunnysky
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2006/8/8 13:26:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用树脂包埋，再研磨，应该会有不错的效果
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