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主题：【讨论】截面SEM的制样方法

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百天采
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发表于：2017/07/20 09:19:13 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想请教一下，样品为涂有多层不同有机物薄膜的玻璃基底，想要通过SEM观测截面，观察各有机薄膜的分层效果，各层的厚度大概为50 nm左右。目前制样就是先在玻璃基底的背面用玻璃刀划一下，然后制备各有机层，然后用液氮冷却之后掰开。
拍出来的图片大概如下图，

大家有没有更好的相似的样品制样方法和经验呢？一起讨论讨论呀！
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牛牛0322
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2017/8/2 14:47:39 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
欢迎大家积极讨论，不同的材料制样方法不同，貌似都很费时费力哦，金属试样一般为粗磨、细磨、抛光、侵蚀。
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浙江亚通焊材
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2017/8/7 16:20:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
实验室测试过经过刻蚀的硅片，先用金刚石刀具在背面划一刀，然后沿着划痕刻蚀面向外折断，可以观察到刻蚀后面截面形貌，效果还可以
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wszlm
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2017/8/8 22:05:22 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这样做的一个效果就是断面不整齐；是否可以考虑类似金属晶相显微的方法，断后包埋在树脂里面进行打磨后测试？只是一个想法，欢迎讨论！
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百天采
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2017/8/9 14:52:22 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wszlm(wszlm) 发表:
这样做的一个效果就是断面不整齐；是否可以考虑类似金属晶相显微的方法，断后包埋在树脂里面进行打磨后测试？只是一个想法，欢迎讨论！
嗯嗯，这个想法不错~主要我的样品是在玻璃基底上的多层有机薄膜，主要想通过SEM看到各薄膜间的分层信息，这样的话打磨可能不是很适合~
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m3243395
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2017/8/17 17:00:20 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
断面样品制样一般都是液氮冷却淬断，薄膜的样品相对来说比较难处理一些
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m3095845
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2017/8/23 14:41:23 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.有带冷阱的离子抛光刀，2.如果可以薄膜样品剥离出来用树脂包埋了切片。树脂有可能会和有机薄膜溶解，可使用胶带等物质两面贴合保护
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UNM
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2017/10/26 16:28:35 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有钱用FIB试试
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百天采
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2017/10/27 17:00:58 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 UNM(v2942222) 发表:
有钱用FIB试试
FIB有想到过，不过确实感觉太贵，有种用牛刀杀鸡的感觉~
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百天采
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2017/10/27 17:03:29 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 番茄配土豆(m3243395) 发表:
断面样品制样一般都是液氮冷却淬断，薄膜的样品相对来说比较难处理一些
还好我的样品是沉积在玻璃基底上的，相对来说还能处理~
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yinsh1212
yinsh1212
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2017/11/2 9:59:51 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用离子束研磨切割吧！
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