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主题：【原创】样品台事故，请大家发表看法（JEOL 6490）

浏览0 回复22 电梯直达
wuthering
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发表于：2009/05/20 08:58:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们公司的JEOL-6490 在操作过程中，由于样品台失控，导致了样品台和镜筒的接触。具体事故过程如下：

放样品--抽真空--Z向移动样品
就在Z向移动的过程中样品台突然失控，鼠标和操作台均无法实现对样品台控制
（以前也出现过，不过是水平方向移动失控，所以当时没在意）

停机后从新启动机器，发现Z值与实际值偏差很大，如图：



已经向JEOL 报修，还未回复；
大家觉得可能是镜子的哪个方面出了问题？
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2009/5/20 9:51:14 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.
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毒菇九剑
sshlxf
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2009/5/20 10:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有装背散射电子探头吗？那个东西很容易被撞坏的
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pdszhq
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2009/5/20 11:30:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样平台重新初始化下，位置就应该准了。貌似不是很大的故障吧
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wuthering
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2009/5/20 12:09:15 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 pdszhq 发表:
样平台重新初始化下，位置就应该准了。貌似不是很大的故障吧


样品台和镜筒发生碰撞也不算很大的故障？？
你知道样品台正上方的那些都是什么组件么？

坏一个就1万多美元。。。。
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wuthering
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2009/5/20 12:10:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 vivia 发表:
我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.


我们的镜子也出现过水平失控，水平失控倒不可怕
就怕碰坏了BSE探头
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heihei727
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2009/6/2 15:56:44 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
6490的样品台控制通信是很脆弱的，不是电脑中毒了吧，致使通信出错？
初始化之后看看结果如何
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春天的桃子
dct1983
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2009/6/3 7:33:39 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 vivia 发表:
我们的也是JEOL-6490,出现过水平方向失控,导致Y轴与实际相差很远.
只要不碰到探头,应该是小问题,上回工程师来的时候,手动把样品台复位就行了.

也出现过这样的情况，碰到探头就麻烦，最好是不要自己搞
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永远的菜鸟
sem1233
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2009/6/29 9:59:24 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没啥经验和把握的话，把那电镜工程师找来先
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驰奔
srd2009
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2009/9/19 14:00:10 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般有限位开关，厂商应该考虑可能出现这种事件，应该预先避免大的事故出现，
否则，吃不了兜着走了！
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semuser
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2009/9/21 10:15:24 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
限位开关是在样品台移动到行程的极限时起作用，通知电脑别再继续走了，不装样品时可以全行程移动，限位开关有用，但没样品，也不会发生碰撞事故。
现在电镜上都有碰撞保护功能，当样品接触物镜、探头时，两者的电位差使得样品台停止运动，然后回退到起始位置，不过样品台马达运转速度慢，力量倒挺大，接触了也基本撞瓷实了，坏不会只能看运气了。
花不花银子，只能看厂家怎么说吧。
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