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主题：【讨论】请教一下 杂散磁场对SEM成像的影响

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rennyann
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发表于：2009/09/16 14:55:53 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在安装电镜之前，会对电镜安装地方有要求，包括杂散磁场应该小于某个值，不知道如果达不到的话 会有多大影响啊
请高手赐教
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fengyonghe
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2009/9/17 0:56:40 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 rennyann 发表:
在安装电镜之前，会对电镜安装地方有要求，包括杂散磁场应该小于某个值，不知道如果达不到的话 会有多大影响啊
请高手赐教

简单地说就是杂散磁场給电子束施加了额外的偏转磁场。当发现图像边缘出现锯齿状，就得分析一下形成锯齿状的原因：高压不稳还是杂散磁场。
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驰奔
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2009/9/17 10:05:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有条件最好测试一下，一般制造商都有相关的检查装置。
如果不测也要把方圆50米内的环境设施向制造商交代清楚，让有经验的工程师判断一下！


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驰奔
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2009/9/17 10:07:01 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe 发表:
原文由 rennyann 发表:
在安装电镜之前，会对电镜安装地方有要求，包括杂散磁场应该小于某个值，不知道如果达不到的话 会有多大影响啊
请高手赐教

简单地说就是杂散磁场給电子束施加了额外的偏转磁场。当发现图像边缘出现锯齿状，就得分析一下形成锯齿状的原因：高压不稳还是杂散磁场。

我也看过这样的图片，扭曲的很厉害！原因是楼上高压实验装置，幸亏使用频率不是非常高！
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