可能发生的原因是在做能谱分析(点,线,面模式)时电镜在ext(外扫)模式下,此时能谱控制电镜电子束的扫描,如果突然出错,可能会造成SEM保持在外扫模式下,而能谱由于软件出错,未能发送结束外扫的信号给SEM,造成SEM没有图象,当然只是本人猜测而已!
解决方法可以拔掉能谱接到SEM的图象接口一般在3400镜筒后下方,标注为VIDEO的BNC端口,然后重启电镜试试看!如果正常,重新插上BNC恢复能谱图象连接即可!
原文由 yuxiaozi 发表:
我們用的SEM型號是HITACHI S-3400,今日正在使用EDS測試成分(樣品為鍍鋅鋼板),突然SEM就沒有圖象了,但是發現電流還是有的,65A左右,請問是怎麼回事?
請高手指教,謝謝!