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主题：【求助】SEM和EPMA空间分辨率是多少？

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sun-guo
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发表于：2007/12/03 16:15:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位高人：

SEM（场发射或非场发射）的空间分辨率，或最小束斑直径是多少？
同样，EPMA的空间分辨率或最小束斑直径是多少？

谢谢！
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