原文由 asahi42(asahi42) 发表:
因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:原文由 asahi42(asahi42) 发表:
因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
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因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
这个。。。还是维修工程师说了算吧~
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因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
这个。。。还是维修工程师说了算吧~
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因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
这个。。。还是维修工程师说了算吧~
恩,刚才正好接到电话,让我烘烤15个小时,冷却3个小时。。。可能是考虑到明天早上9点上班的原因吧选用了user烘烤模式。。。不过他提到,要把scan speed 调到等于1,operater model为normal 模式,然后点击freeze 这个就不太懂了。。。老师,你知道吗,求解惑。。。
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因为离子泵需要在稀薄空气浓度(高真空)下才能开始工作,高浓度的空气(低真空)可能造成离子泵频繁打火而烧坏。Bypass阀打开的话,是用TMP直接先抽镜筒和电子枪,此时离子泵是停的。抽到低浓度(高真空)后,再开启离子泵。这对因为掉真空而造成的离子泵停机是一个很好的保护性恢复过程。工程师是对的。不过LZ的离子泵应该不至于那么快就烧坏…
谢谢你的回答! 早上大概让我烘烤了一个小时左右,冷却了2个小时,现在真空抽到9.6--e-6pa。。。ps:他说如果能达到-6pa就说离子泵应该问题不大。。。但是不知道,什么时候才能抽到-8pa。。。如果达不到,是不是应该在好好烘烤一下。。。
这个。。。还是维修工程师说了算吧~
恩,刚才正好接到电话,让我烘烤15个小时,冷却3个小时。。。可能是考虑到明天早上9点上班的原因吧选用了user烘烤模式。。。不过他提到,要把scan speed 调到等于1,operater model为normal 模式,然后点击freeze 这个就不太懂了。。。老师,你知道吗,求解惑。。。
这个。。。我也很疑惑。烘烤的时候高压都不加的,Scan speed / operater mode / freeze都不起作用的呀。。。照他说的做,烘完了再问问他吧~
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
因为有多个gauge测量不同位置的真空值,高真空的叫潘宁规,低真空的叫皮拉尼规
但是从上面的图中,看不出哪里有个皮拉尼规啊。。。ps:悲剧了,昨天晚上烘烤一晚上,到现在gun真空还是9.6--e-6pa,心情沮丧啊!就因为点击vent,pump这两个正常动作,然后我就悲剧了。。。真郁闷。。。一个离子泵那么贵,好无语哈。。。算是我的责任吗