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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】扫描电镜实验测试发现问题了，怎么办？？

浏览0 回复7 电梯直达

ybhetao5

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发表于：2012/02/17 16:21:46 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

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fengyonghe

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新手级：新兵

2012/2/17 17:40:47 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ybhetao5(ybhetao5) 发表:
请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

韦氏组件侧面的三颗螺丝一定要对中好，你这种情况要调小灯丝和维氏帽间的距离，逆时针转动一个角度，再根据束流大小重复调整。

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yinsh1212

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2012/2/17 18:01:13 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

日立S3400电镜应该采用的是预对中的灯丝组件，在换新灯丝的时候，与灯丝配套的会有对应的铜垫圈，如果引出电流太小，可以减少铜垫圈。
另外也可以调整灯丝饱和点的设置。

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ventyxu

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2012/2/20 13:46:44 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 yinsh1212(yinsh1212) 发表:
日立S3400电镜应该采用的是预对中的灯丝组件，在换新灯丝的时候，与灯丝配套的会有对应的铜垫圈，如果引出电流太小，可以减少铜垫圈。
另外也可以调整灯丝饱和点的设置。

一个铜电圈可以增加或减少10-15uA的电流。

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dinel2004

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新手级：新兵

2012/2/22 17:27:08 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ybhetao5(ybhetao5) 发表:
请教各位高手，发射电流偏低怎么办
我是一菜鸟，用的是日立S3400N II型钨灯丝扫描电镜，换灯丝以后，发射电流（Emission current)很低，大多数时候只在50多ua，30KV时甚至只有40多，而Fiament可以调到90以上，gun bias已调到1，2 的样子，发射电流仍上不去，请教各位，是何原因？该如何调节？

有时甚至会有零发射，要求检查filmant ,但几秒钟后又回到20、30多ua，不过最高也只有60不到点，是何原因。请各位不吝赐教啊，谢谢！

偏压gun bias调到3，或者把灯丝的位置调近一些都可以。关键是找到灯丝饱和点。

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