主题:【求助】离子溅射仪为什么不能喷金了呢?

浏览0 回复10 电梯直达
chasedream
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这是开学后第一次使用,抽真空抽到5.55时,数字就很难往下走了,按下start后,还显示的是抽真空的状态,不能喷金,不知道这是为什么,请指教。
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原文由 chasedreamzcj(chasedreamzcj) 发表:
型号是JFC-1600,压强降到5.55pa


真空还没抽上去,所以喷不了金吧
fengyonghe
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真空度要达到10-2Pa以上才行。
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2011/9/10 0:24:24 Last edit by fengyonghe
chasedream
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是啊,真空度要求在5Pa以下,才能喷金。
可是抽了40多分钟,仍然是在5.5左右,就不往下降了。到底怎么回事啊?室内密封不严么?该如何进一步密封呢?

急!
fengyonghe
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mmmmmmmmmp
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LZ后来发现了问题的原因了吗?是因为真空问题吗?密封圈的问题还是真空泵无法正常工作或者波动电源电压导致的,还是其他的问题,请指教,最近也有这个问题遇到。
胖胖熊
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cvbs11
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原文由 胖胖熊(v2719209) 发表:
偶尔也会遇到  关掉重启就好了


看这个情况,感觉是软件有问题哦
胖胖熊
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原文由 cvbs11(cvbs11) 发表:
原文由 胖胖熊(v2719209) 发表:
偶尔也会遇到  关掉重启就好了


看这个情况,感觉是软件有问题哦


个人觉得可能是真空探头出问题
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