主题:【求助】In lens模式是什么意思?有什么特别的用处?

浏览0 回复9 电梯直达
ssssss0527
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RT。

做实验的时候,发现除了平时可选的SEI,BSE模式外,多了一个in lens,试了试,也没发现有什么特别的地方,特请教各位专家高手,谢谢!
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asahi42
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LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的?几家的定义和结构不一样的,无法统一回答。
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LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的?几家的定义和结构不一样的,无法统一回答。


谢谢回复。我的是Zeiss的。
asahi42
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LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的?几家的定义和结构不一样的,无法统一回答。


谢谢回复。我的是Zeiss的。


噢,呵呵,Zeiss的In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头,在Beam Booster开启的前提下工作,主要用于成高分辨的二次电子像;SE1是镜筒外的二次电子探头,用于成常规二次电子像;BSE是镜筒内光轴上的背散射电子探头,同样在Beam Booster开启的前提下工作,用于成样品表面背散射电子像。LZ您的机器是Ultra级别的吧~?
ssssss0527
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谢谢您的回复。懂了。不过是不是在用In lens的时候需要把加速电压调低一点?我感觉同样看一个金属表面,10kv的In lens表面细节就失去很多了~
btw,仪器我也不是很懂。应该是Leo 1530VP。本科小孩,平时只能玩玩钨灯丝,FEG上手机会不多~

另外JEOL对inlens怎么定义的呢?
谢谢!

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LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的?几家的定义和结构不一样的,无法统一回答。


谢谢回复。我的是Zeiss的。


噢,呵呵,Zeiss的In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头,在Beam Booster开启的前提下工作,主要用于成高分辨的二次电子像;SE1是镜筒外的二次电子探头,用于成常规二次电子像;BSE是镜筒内光轴上的背散射电子探头,同样在Beam Booster开启的前提下工作,用于成样品表面背散射电子像。LZ您的机器是Ultra级别的吧~?
asahi42
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谢谢您的回复。懂了。不过是不是在用In lens的时候需要把加速电压调低一点?我感觉同样看一个金属表面,10kv的In lens表面细节就失去很多了~
btw,仪器我也不是很懂。应该是Leo 1530VP。本科小孩,平时只能玩玩钨灯丝,FEG上手机会不多~

另外JEOL对inlens怎么定义的呢?
谢谢!


这个…LEO的钨灯丝是没有Beam Booster的,所以您的机器的In lens是不是我之前说的那个In lens还有待考证…JEOL的in lens在高端热场上面使用,好像是JSM-7600F和JSM-7800F,在电子枪下面阳极这个地方直接接上一个汇聚透镜,用于提供持续稳定的大束流。但是这仅仅是从样本上面的理解,具体细节,要JEOL的工程师才知道~
sysmith
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leo 1530是场发的,1430才是钨丝的,就是后来的EVO系列。

另外,楼主是华工的?
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2012/11/13 0:08:21 Last edit by sysmith
sept
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in lense 是消除杂散二次电子的纯样品的二次电子信号。
另一半是孩子
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谢谢您的回复。懂了。不过是不是在用In lens的时候需要把加速电压调低一点?我感觉同样看一个金属表面,10kv的In lens表面细节就失去很多了~
btw,仪器我也不是很懂。应该是Leo 1530VP。本科小孩,平时只能玩玩钨灯丝,FEG上手机会不多~

另外JEOL对inlens怎么定义的呢?
谢谢!

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谢谢回复。我的是Zeiss的。


噢,呵呵,Zeiss的In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头,在Beam Booster开启的前提下工作,主要用于成高分辨的二次电子像;SE1是镜筒外的二次电子探头,用于成常规二次电子像;BSE是镜筒内光轴上的背散射电子探头,同样在Beam Booster开启的前提下工作,用于成样品表面背散射电子像。LZ您的机器是Ultra级别的吧~?


In lens就是一个观察极表面细节的探头,不一定要在BEAM BOOSTER开启的前提下工作。
另一半是孩子
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谢谢您的回复。懂了。不过是不是在用In lens的时候需要把加速电压调低一点?我感觉同样看一个金属表面,10kv的In lens表面细节就失去很多了~
btw,仪器我也不是很懂。应该是Leo 1530VP。本科小孩,平时只能玩玩钨灯丝,FEG上手机会不多~

另外JEOL对inlens怎么定义的呢?
谢谢!

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LZ您用的是JSM的7600F还是Zeiss的?几家的定义和结构不一样的,无法统一回答。


谢谢回复。我的是Zeiss的。


噢,呵呵,Zeiss的In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头,在Beam Booster开启的前提下工作,主要用于成高分辨的二次电子像;SE1是镜筒外的二次电子探头,用于成常规二次电子像;BSE是镜筒内光轴上的背散射电子探头,同样在Beam Booster开启的前提下工作,用于成样品表面背散射电子像。LZ您的机器是Ultra级别的吧~?


因为in lens探头是收集样品及其表面的形貌细节,低电压成像下效果极好。对于10KV的加速电压,本身已经对样品作用区域很深了,所以表面细节反而看不到了。JEOL的inlens探头的区别是位置不同,他家这个探头在主光路的一侧,而zeiss是在主光路正上方,就这么点区别。
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