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主题：【求助】Al的TEM截面样品制备

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yueque
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发表于：2012/10/25 01:30:33 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
以前做过基底是氧化锆的涂层的截面样品，现在做的样品基底是Al，因为金属Al非常软，延展性很好，抛光磨的过程中发现两个对粘的表面容易乌到一块，两个表面中间的gap也越来越大。不知道在座没有人做过比较软的金属的TEM截面样品，帮忙提出一点建议，不尽感激！
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洪星二锅头
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2012/10/25 8:47:45 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
铝样品比较好磨，在研磨过程中加水了吗，怎么研磨的，说说步骤，用的多少号砂纸
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大布口袋
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2012/10/25 12:56:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品
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yueque
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2012/10/26 3:49:01 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
铝样品比较好磨，在研磨过程中加水了吗，怎么研磨的，说说步骤，用的多少号砂纸


加了水啊，但是用400的开始磨的，一直到1200，1200以后又用diamond film 从1um到0.5再到0.25μm。
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yueque
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2012/10/26 3:49:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品


FIB的话太厚了，100nm的厚度做不了高分辨啊
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2012/10/26 8:08:06 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品


难道你能用FIB得到20nm左右厚度的样品？
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洪星二锅头
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2012/10/26 8:20:57 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人觉得400号砂纸有点粗，虽然磨得快，由于是截面样品，很容易产生铝沿着你研磨的方向发生拉伸，你可以在每道研磨工序后，用显微镜观察一下，确保你所要观察的那个涂层不要被铝所覆盖，在最后几道研磨过程中，研磨方向最好是平行截面的方向
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2012/10/26 19:23:27 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yueque(yueque) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品


难道你能用FIB得到20nm左右厚度的样品？


可以~
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2012/10/26 19:25:07 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yueque(yueque) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品


FIB的话太厚了，100nm的厚度做不了高分辨啊

FIB要做出一个可以做普通高分辨的Al截面样品很容易
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yueque
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2012/11/19 4:15:06 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 洪星二锅头(coime) 发表:

个人觉得400号砂纸有点粗，虽然磨得快，由于是截面样品，很容易产生铝沿着你研磨的方向发生拉伸，你可以在每道研磨工序后，用显微镜观察一下，确保你所要观察的那个涂层不要被铝所覆盖，在最后几道研磨过程中，研磨方向最好是平行截面的方向


请问什么是平行截面的方向？是指跟对粘的界面平行？这样的话那些grinding particle会跑到对粘的空隙里去吧？
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2012/11/19 4:16:30 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
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只用FIB做过Al的截面样品 需要比较好的经验可以做出来用来做STEM高分辨的样品


FIB的话太厚了，100nm的厚度做不了高分辨啊

FIB要做出一个可以做普通高分辨的Al截面样品很容易


你好牛啊！！我这里管仪器的老师说100nm是极限，求经验啊
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