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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【讨论】背散射能谱

浏览0 回复10 电梯直达

guanjun19860820

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发表于：2009/11/06 11:23:07 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

,在背散射模式下，能否用能谱，对仪器有伤害不？听说在背散射下，真空度不高，能谱X射线会受影响？各位大侠出来讨论下！

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2009/11/6 15:22:43 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

背散射和二次电子的转换改变的只是探头，对于真空度没有任何影响，个人觉得这和用能谱也没有什么影响。样品在电子束的作用下，二次电子，本散射电子以及特征x射线都被激发出来，只是用不同的探头来观测罢了。

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驰奔

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2009/11/6 16:10:12 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 guanjun19860820(guanjun19860820) 发表:
,在背散射模式下，能否用能谱，对仪器有伤害不？听说在背散射下，真空度不高，能谱X射线会受影响？各位大侠出来讨论下！

可以用能谱，对仪器有伤害！

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Frinight

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2009/11/6 17:25:45 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 syning90(syning90) 发表:
背散射和二次电子的转换改变的只是探头，对于真空度没有任何影响，个人觉得这和用能谱也没有什么影响。样品在电子束的作用下，二次电子，本散射电子以及特征x射线都被激发出来，只是用不同的探头来观测罢了。

您的解释很对。

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golf

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2009/11/9 19:23:29 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

背散射电子探头和能谱配合使用是很重要的功能啊，怎么不能同时工作呢？第一次听到这样观点。

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驰奔

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2009/11/9 19:26:45 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 golf(golf) 发表:
背散射电子探头和能谱配合使用是很重要的功能啊，怎么不能同时工作呢？第一次听到这样观点。

是啊，可能有些常识还不理解

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airy

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2009/11/12 1:33:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

背散射模式，跟真空没有任何关系，对设备也没有任何影响，只是多伸了个探头进去而已，事实上，所有能谱仪都提供二次电子和背散射电子图像模式。
当然，由于伸了个探头进去，而且要得到好的背散射电子像，需要把样品离背散射电子探头很近，这样可能导致在某些型号的电镜上能谱的几何关系不能满足，或者是探头对X射线的信号有所遮挡，从而采集到的信号不好。

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