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主题：【讨论】用SEM的内置标尺 来测长,误差有多大?

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firesoul119
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发表于：2010/01/25 23:52:43 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问用SEM的标尺来测量长度(um),误差范围是多少?
    目前我觉得以下可能存在误差,请大家看看何不合适:
1.普通的测长显微镜利用镜头的固定焦距,在固定倍率下进行校准来测量长度;由于景深小,测量时误差相对较小;
由于SEM的大景深,对焦在一定的高度范围内都满足,这时 测量长度是否就会因选择的高度不同而产生误差呢?
2.JEOL的标尺是在一定的WD下校准的(10或20),那么其他的WD下进行测长,是否误差会较大?
不同的WD下,设备内会有计算和修正来减少误差么?
还有,我用的SEM的WD没有显示小数位(可能是4舍5入的),难以精确的设定在10或20初,如此是否也会导致测量误差呢?
3.样品本身不平整或倾斜,或在不同焦距面上取两点测量,是否也是误差的来源?
4.是否还有其他的误差呢?

    如此,误差范围在不同情况下有多大呢?有没有同行用标样测试过啊?多谢了!

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fengyonghe
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2010/1/27 4:27:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
关于这些问题应该按照国标进行检测。
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seal007
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2010/1/27 16:58:27 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要校准的哦
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fairman
fairman_xiao
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2010/2/10 16:37:04 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有个国家标准，进行校准方面的。
我认为来源主要是厂家内标的准确度，这个目前大部分用户只能被动接受。
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salford
salford
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2010/2/24 11:02:15 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在你测量样品的工作条件下，用标准样品或光栅对放大倍率进行标定。
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面对面想你
jackcong
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2010/2/24 11:24:27 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们也拿这个来测试筛网的尺寸，好像误差还蛮大的，不知道是不是方法不当。
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ylyh
ylyh
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2010/2/25 23:43:20 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fairman(fairman_xiao) 发表:
有个国家标准，进行校准方面的。
我认为来源主要是厂家内标的准确度，这个目前大部分用户只能被动接受。


同意。
我对比了一下日本电子的和Zeiss的照片，放大倍数差一倍，比如日本电子电镜标1000倍的时候，相同条件Zeiss的电镜标2000倍。看了一下Zeiss电镜的最高放大倍数是1百万倍，估计日本电子的准确性更高一些。
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heihei727
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2010/2/26 21:53:06 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fairman(fairman_xiao) 发表:
有个国家标准，进行校准方面的。
我认为来源主要是厂家内标的准确度，这个目前大部分用户只能被动接受。

有理
可以用经过权威验证的网格来测试是否有误差
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guanjun19860820
guanjun19860820
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2010/2/27 11:02:30 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
相对误差10%之内吧，要经常校正的，绝对误差跟你放大倍数有关！
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chenyh-0302
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2010/3/3 16:27:07 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人认为，在样品不倾斜情况下，测量值可以作参考。万物都是相对的，误差肯定是有的。
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wang200604
wang200604
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2010/3/8 10:54:24 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.试样在不同的工作距离，不同的放大倍数下，示值尺寸和试样实际尺寸值不能超过10%。
2.请参看国家计量检定规程JJG550--88
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