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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】目前SEM的最高分辨率达到多少？

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狼图腾
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发表于：2010/05/28 10:06:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，谢谢
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2010/5/28 11:11:47 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得对扫描电镜来说。具体的分辨率数据是没有什么意义的，因为无法去验证，没有科学的标样来验证这个数据。对扫描电镜来说用一个模糊地分辨能力来说还好一点，分辨能力那个强比较科学。模糊地才是科学的。从分辨能力来说日立的S5500应该最强。据说是4800的极限对它来说是一个小儿科。不过由于样品要放进物镜中所以要求比较苛刻。不是常规样品观察使用的工具。特别是对于易磁化样品根本不能用
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2010/5/28 11:16:20 Last edit by linzq
fly-fall
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2010/5/28 11:27:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 linzq(linzq) 发表:
我觉得对扫描电镜来说。具体的分辨率数据是没有什么意义的，因为无法去验证，没有科学的标样来验证这个数据。对扫描电镜来说用一个模糊地分辨能力来说还好一点，分辨能力那个强比较科学。模糊地才是科学的。从分辨能力来说日立的S5500应该最强。据说是4800的极限对它来说是一个小儿科。不过由于样品要放进物镜中所以要求比较苛刻。不是常规样品观察使用的工具。特别是对于易磁化样品根本不能用


同感~但其样品制备比起TEM来还是简单了很多...有个问题，几乎不能做分析用，EDX空间分辨率低
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syning90
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2010/5/28 12:24:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
普通SEM的极限分辨率应该是3nm-5nm
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wang200604
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2010/5/28 13:23:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
中高档钨灯丝枪扫描电镜的分辨率在3-6nm左右，场发射枪扫描电镜的分辨率在0.8nm左右。不同的生产厂家生产的不同枪体的扫描电镜分辨率是不同的，都有自己的设计指标。
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2010/5/28 13:46:34 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wang200604(wang200604) 发表:
中高档钨灯丝枪扫描电镜的分辨率在3-6nm左右，场发射枪扫描电镜的分辨率在0.8nm左右。不同的生产厂家生产的不同枪体的扫描电镜分辨率是不同的，都有自己的设计指标。


0.8nm不是所有的FEG都能达到的...嘿嘿，也算是FEG中极高端的玩意儿，还要和电子枪的设计综合考虑，估计都要用到两级聚光镜了
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狼图腾
tiewen1029
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2010/5/29 12:10:30 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习了，谢谢
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solo1981
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2010/5/30 19:16:52 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是日立S5500吧？？
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qiuzhen
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2010/6/30 14:51:43 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你们都错了，是日立H-3000全世界就一台在大坂大学研究中心。加速电压可达到3。5MV
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qiuzhen
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2010/6/30 14:57:09 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是日立的H3000
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fly-fall
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2010/6/30 17:10:44 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 qiuzhen(qiuzhen) 发表:
是日立的H3000


这是SEM吗？老兄
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