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主题：【求助】芯片样品尺寸

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chen23
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发表于：2007/12/07 21:27:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问，LED芯片样品尺寸为350um*350um厚度为100um，电极面积50um*50um，像这样规格的芯片能否用SEM扫描？扫描前是否需要把电极去除？芯片还需要做些处理工作？有人做过类似的测试吗，请指点一下。
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huangtao0307
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2007/12/7 23:24:09 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chen23 发表:
请问，LED芯片样品尺寸为350um*350um厚度为100um，电极面积50um*50um，像这样规格的芯片能否用SEM扫描？扫描前是否需要把电极去除？芯片还需要做些处理工作？有人做过类似的测试吗，请指点一下。
非常感谢！


楼主能说清楚你要做什么吗？？
是外观观察还是内部电路的检查！
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chen23
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2007/12/8 12:17:29 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想看看芯片表面以及内部的位错。
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110sl119
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2007/12/16 17:31:24 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 chen23 发表:
想看看芯片表面以及内部的位错。
表面可以看的；内部不处理怎么看？
我做半导体失效分析的；学习一下？
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