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主题：【讨论】EDS能谱问题请教

浏览0 回复4 电梯直达
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发表于：2016/03/21 09:22:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对于SEM能谱，轻元素不好检测，厂家也一般也不明确标示C、F的能量分辨率。不同晶区面积的仪器，有的F-Ka线标56eV、55eV，有的标54eV。这些差距大吗?这是什么原因导致的差距。
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fengyonghe
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2016/3/21 23:04:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

单位是千电子伏特
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驰奔
srd2009
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2016/3/23 21:55:37 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主这个问题专业，
差别不大，活区面积增大会导致分辨率下降。
造成这种差异的是电噪音。越小的晶体电噪音越小。

我看过的有关资料说当前SDD分辨率已经接近无噪音的极限快了。
SDD EDS理论极限分辨率是120ev Mn Ka，最好的已经达到121ev.  1ev的差距，几乎可以无视了。
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fengyonghe
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2016/3/24 1:29:12 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
回帖很专业，佩服
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wildonkey
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2016/4/23 16:05:25 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
121ev分辨率  那是布鲁克的10平方毫米sdd XFlash? 6 | 10 limited edition， 真让人眼馋。C峰分辨率38ev  F峰47ev，此时轻元素CNOF的K峰分的很开，背底特低，据说对定量化分析准确度提升明显。估计重元素的L M线也有很好效果。  可惜布鲁克的大面积sdd探测器分辨率逐步变差  30mm的Mn峰分辨率123ev  60mm的126ev  100mm的129ev。 60mm及以上，已经差于牛津的全部尺寸分辨率都是125ev， 遗憾。
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