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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：【求助】喷碳过程遇到的问题

浏览0 回复13 电梯直达

tangyang1983

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发表于：2012/10/08 11:45:01 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

仪器型号为真空喷镀仪JEE-420，喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了，升高电流，碳条接触部分发红发亮，至电流40左右，才开始喷溅火花的，然后闪一闪的坚持十几秒，突然亮一下就熄火了，每次都是，怎么办啊！

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2012/10/8 12:10:59 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

是不是真空度的问题啊

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小M

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2012/10/8 12:11:49 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

没有用过，等待高人

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asahi42

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2012/10/8 14:10:34 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

感觉像是在蒸镀过程中真空恶化导致的。LZ蒸镀前有没有烘烤过碳棒？就是用中等电流将碳棒加热至红热但不到红炽，这个时候不放样品，但可以把碳棒里面的空气都赶走。

只是个人判断，LZ联系一下JEOL的维修工程师看看？

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三人行

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2012/10/8 14:16:21 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

建议即清理。

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fengyonghe

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2012/10/8 14:30:32 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tangyang1983(tangyang1983) 发表:
仪器型号为真空喷镀仪JEE-420，喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了，升高电流，碳条接触部分发红发亮，至电流40左右，才开始喷溅火花的，然后闪一闪的坚持十几秒，突然亮一下就熄火了，每次都是，怎么办啊！

正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降，这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

碳棒需要磨成这两种形状中的一种，电流会明显减小，大约20左右。

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2012/10/8 14:44:58 Last edit by fengyonghe

asahi42

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2012/10/8 16:56:52 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 tangyang1983(tangyang1983) 发表:
仪器型号为真空喷镀仪JEE-420，喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了，升高电流，碳条接触部分发红发亮，至电流40左右，才开始喷溅火花的，然后闪一闪的坚持十几秒，突然亮一下就熄火了，每次都是，怎么办啊！

正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降，这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

碳棒需要磨成这两种形状中的一种，电流会明显减小，大约20左右。

受教~！

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tangyang1983

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2012/10/9 14:46:48 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 tangyang1983(tangyang1983) 发表:
仪器型号为真空喷镀仪JEE-420，喷碳过程中每次都只能十几秒就熄火了，升高电流，碳条接触部分发红发亮，至电流40左右，才开始喷溅火花的，然后闪一闪的坚持十几秒，突然亮一下就熄火了，每次都是，怎么办啊！

正常的就是这样。喷碳过程中碳以原子态蒸发出来并使真空度很快下降，这不是由于气体引起的。要重复几次这个过程才能喷好碳。

碳棒需要磨成这两种形状中的一种，电流会明显减小，大约20左右。