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主题：【求助】请问SEM镀金的温度？

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怜卷西风
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发表于：2008/07/25 09:11:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
试验的PET无纺布为基布，上覆一层PTFE（聚四氟乙烯）膜，
镀金后发现，PTFE膜被破坏，不知道是什么原因？
镀金条件：6mA，时间：5min
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2008/7/25 12:00:04 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tyoutyouitu 发表:
试验的PET无纺布为基布，上覆一层PTFE（聚四氟乙烯）膜，
镀金后发现，PTFE膜被破坏，不知道是什么原因？
镀金条件：6mA，时间：5min



時間是不是太長了點﹐要鍍這么厚嗎﹖
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hitachi-demo
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2008/7/25 14:31:28 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用的是什么溅射仪啊？
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jzhx68
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2008/7/26 17:52:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tyoutyouitu 发表:
试验的PET无纺布为基布，上覆一层PTFE（聚四氟乙烯）膜，
镀金后发现，PTFE膜被破坏，不知道是什么原因？
镀金条件：6mA，时间：5min


关键是电流低，所以时间长。
样品和靶材之间的距离有多大。可以把该距离拉大试试。
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kapabulanka
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2008/7/27 18:58:27 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以分成几次镀.
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