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主题：【原创】氮气减压阀

浏览0 回复9 电梯直达
happydfli
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发表于：2007/09/14 16:26:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的SEM需要通氮气，在样品室，氮气是从管道直接出来的，10KG压力，需要减到0.2个大气压，听说压力不合适会把EDS探头弄坏，而不用氮气对于镜子长期维护又不好。

请问我想用两级减压阀把氮气压力减到合适的范围，应该是可行的，各位知道哪里有卖质量好的减压阀的吗？
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2007/9/14 16:30:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
减压阀的质量应该没有什么大问题的
主体的要问问仪器厂家了
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shalin
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2007/9/14 16:37:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你买了减压阀后拿去校准一下嘛，应该没有问题的，那里都有卖的。随便哪个城市都有 。但要买氮气减压阀哈。
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happydfli
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2007/9/15 8:44:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
兄弟我再问一个问题，对于一般的场发射，例如FEI的，氮气保护需要的压力是多少呢，（这里统一规定1MPa＝10公斤），如果压力过大或过小有什么不良影响呢？请有经验的人指教。
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gooddmm
guoning_1000
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2007/9/19 20:01:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看来用的FEI的还是多啊
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xawfnh
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2007/9/22 10:18:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个东西哪都有卖的,选个大于500块的就够了
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jeolzxj
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2007/9/22 23:58:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对于采用管道（或瓶装）气源放气的SEM，一般要求进气压力不超过0.02 Mpa / 3 psi / 0.2 bar
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happydfli
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2007/9/24 12:27:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对了，如果氮气输送管道上再装一个灰尘过滤器，要求能过滤掉大于0.3um的颗粒，不知哪里有卖这样的灰尘过滤器的？
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/9/28 14:07:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 happydfli 发表:
对了，如果氮气输送管道上再装一个灰尘过滤器，要求能过滤掉大于0.3um的颗粒，不知哪里有卖这样的灰尘过滤器的？


您真是不相信氮气供应商啊，气得纯度都能到99.999%，你还要加灰尘过滤，难道那0.001%是灰尘？
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happydfli
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2007/9/28 17:01:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 amoslau 发表:
原文由 happydfli 发表:
对了，如果氮气输送管道上再装一个灰尘过滤器，要求能过滤掉大于0.3um的颗粒，不知哪里有卖这样的灰尘过滤器的？


您真是不相信氮气供应商啊，气得纯度都能到99.999%，你还要加灰尘过滤，难道那0.001%是灰尘？


我们的是管道氮气，从发生器到仪器要经过很长的管子，虽然氮气本身很纯，但要虑掉从管子上掉下的东西。我们目前加了一个0.5um的一级过滤，然后是半导体厂用的高精密过滤，可以滤到0.003um，流量也满足需要。
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