主题:【求助】SEM电子束电流不稳定,是什么原因?希望高手给予指点!谢谢

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ruifenzhao
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在扫描样品时,样品显示窗口的亮度不停在闪,查看gun后发现,电子束电流在93-96之间不停变化,正常使用时电流93,原以为灯丝要断了,可上一次闪了十几分钟后又变正常了,过了不到一个星期,又开始闪,不知什么原因,希望高手给予指点!谢谢
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sweettlr
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这个情况我也没遇到过,和你一起等待高手们的解答。
golf
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asahi42
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钨灯丝咯?按照换灯丝流程把灯丝拿下来再装上去装紧,做一下束对中,然后每次真空多抽会儿再加电压试试~
ruifenzhao
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zhuzhuhai
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rainflying666
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原文由 ruifenzhao(ruifenzhao) 发表:
在扫描样品时,样品显示窗口的亮度不停在闪,查看gun后发现,电子束电流在93-96之间不停变化,正常使用时电流93,原以为灯丝要断了,可上一次闪了十几分钟后又变正常了,过了不到一个星期,又开始闪,不知什么原因,希望高手给予指点!谢谢


怎么和我们的情况一样啊,我们也是JEOL6390的,是不是这款仪器有这个弊端啊?期待高手解答帮忙解决问题!
ruifenzhao
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dymek_friendlie
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专门找电镜故障的帖子来看。


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2010/10/21 18:43:05 Last edit by dymek_friendlie
killersadm
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资深专家看法:
    束流不稳的原因很多,你这种情况概率最大的是灯丝两脚趾间绝缘程度下降,根本原因是真空条件下钨丝的蒸发造成的,用抛光膏清洁一下或者更换一个新的灯丝看看吧。
  但愿如此,如果是其他原因就麻烦大了。
jinshucailiao
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弱弱的问一下:上文说的电子束电流是指的 L.C.(Load Current)值吧?这个值在调整照片清晰度时有帮助吗?
和调整SS有什么差别吗?
我总是被 束流和束斑 搞混,因为有人告诉我日本电子的在做能谱时调束流就是调束斑,是这样吗?
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2010/11/11 10:15:01 Last edit by jinshucailiao
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