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主题：请问等离子刻蚀的表面用SEM放大多少倍可以看到刻蚀情况啊？

浏览0 回复7 电梯直达
houzhl
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发表于：2006/09/27 11:54:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
目前我做的两万倍好像看不清楚刻蚀作用。
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2006/9/27 11:54:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我发的图片怎么看不到啊 ？？？？？
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houzhl
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2006/9/27 11:55:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
斑竹指导一下啊 。
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六脉神剑
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2006/9/27 17:13:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你是从附件粘贴的图片吗？
如果是的话就应该能看到。

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六脉神剑
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2006/9/27 17:15:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知道楼主所说的刻蚀是否用了掩模，没有淹没的话很难看出刻蚀情况，除非被刻蚀物是成分不均一的物质。

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houzhl
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2006/9/28 9:02:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哦,淹没?原来是这样啊.我应该怎么样处理后再做一次SEM才能看清楚呢?
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houzhl
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2006/9/28 9:03:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
都是阴影.看不到明显的刻腐蚀.这个是20000倍的
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houzhl
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2006/9/28 9:04:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我又在附件上传了一次.怎么还是看不到啊..
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