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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：【求助】用SEM测量样品中小孔的深度？

浏览0 回复13 电梯直达

dinel2004

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发表于：2009/08/05 10:53:49 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

悬赏金额：20积分状态：已解决

请问高手：如何用SEM测量出样品中小孔的深度？大约是30微米左右。
是把样品倾斜在样品座上，假定倾斜角为120度，用实际看到孔的最深处与样品表面之间的距离乘以60度角的余弦吗？

推荐答案：毒菇九剑回复于2009/08/05

有专门的三维软件测深度的。

补充答案：

wangsheng16回复于2009/08/06

非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？

zhfl729回复于2009/08/06

驰奔回复于2009/08/06

如果允许破坏，从断面观察测量最理想。
对于陶瓷来说比较坚硬，但很脆，锯断和磨样其实都不是想象的那么简单。

最简单的办法

举起铁榔头... 啪... 只一下！如果大小不理想，再啪啪啪...

找一块比较整齐的端口，试着看看！也许很满意！

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2009/8/5 11:59:51 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有专门的三维软件测深度的。

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蓝莓口香糖

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2009/8/5 21:13:03 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

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insulater

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2009/8/5 21:31:25 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 drizzlemiao 发表:
如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

综合楼上两个人的意见

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dinel2004

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2009/8/6 8:39:54 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 drizzlemiao 发表:
如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？

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wangsheng16

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2009/8/6 8:46:24 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

金刚石刀片切割机,O(∩_∩)O哈哈~

原文由 dinel2004 发表:
原文由 drizzlemiao 发表:
如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？

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fly-fall

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2009/8/6 12:34:59 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wangsheng16 发表:
金刚石刀片切割机,O(∩_∩)O哈哈~
原文由 dinel2004 发表:
原文由 drizzlemiao 发表:
如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？

推荐：FIB(focused ion beam) 可以切,也可以量!

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dinel2004

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2009/8/6 13:15:20 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

为什么都回答的这么简单扼要呢？

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zhfl729

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2009/8/6 14:09:25 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

实在不能切开的话那只有倾斜了，但是应该是用所测的尺寸除以倾斜的角度余弦值吧。

原文由 dinel2004 发表:
请问高手：如何用SEM测量出样品中小孔的深度？大约是30微米左右。
是把样品倾斜在样品座上，假定倾斜角为120度，用实际看到孔的最深处与样品表面之间的距离乘以60度角的余弦吗？

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︶ㄣ青蟲CC

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2009/8/6 14:56:20 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 wangsheng16 发表:
金刚石刀片切割机,O(∩_∩)O哈哈~
原文由 dinel2004 发表:
原文由 drizzlemiao 发表:
如果允许破坏，就把样品切开看侧面。

非常坚硬的陶瓷片，侧面很难切开，怎样才能切开？？？？

不想切就采用最笨的方法——磨样！！！！！！！！！！

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dinel2004

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2009/8/6 15:03:05 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 zhfl729 发表:
实在不能切开的话那只有倾斜了，但是应该是用所测的尺寸除以倾斜的角度余弦值吧。
原文由 dinel2004 发表:
请问高手：如何用SEM测量出样品中小孔的深度？大约是30微米左右。
是把样品倾斜在样品座上，假定倾斜角为120度，用实际看到孔的最深处与样品表面之间的距离乘以60度角的余弦吗？

对！是用测量值除以倾斜角的余弦。前面写错了！