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主题：【求助】EPMA无法抽到真空

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发表于：2009/07/09 09:05:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天早上仪器无法抽真空度到0.001pa 大约抽了一个小时
仪器：EPMA-1600 03年买的
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2009/9/1 11:23:43 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
估计是漏气了，拆开擦干净一些接口，特别是常要开关的真空阀门
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2009/9/1 13:40:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 netasp 发表:
估计是漏气了，拆开擦干净一些接口，特别是常要开关的真空阀门

同意。
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