主要根据需要来选择购买的内容,大体上扫描电镜可以对不同材料(包括导电以及非导电)的样品进行微区观察,具体的放大倍数以及分辨率可以根据自己常作样品的颗粒尺度来选择,目前市场通常分W灯丝以及场发射,二者分辨率显著不同,且价格显著不同。另外,扫描电镜通常的采集的信号是二次电子,除此以外还具有多种选配部件,包括不同信号接收探测器等。比如背散射探头等(收集背散射信号,显示原子序数衬度)。不管是何种探头,扫描电镜可以归结为收集样品的表面形貌信息的设备。
通常,扫描电镜还配有的附件是能谱EDS,用来采集X射线信号,据此来判断所观察样品的元素种类、成分含量、不同元素的分布情况等。购买扫描电镜的,十之八九都会配能谱,除非该使用者所检测的样品是单一、明确的材料,只需看表面形貌即可。通常在工厂做批量检测时无需能谱,否则多数购买者均会配备EDS。
除EDS外,仍有波谱WDS附件可以配备在扫描电镜上,也同样是检测样品的成分元素信息的附件,它的分辨率更好,检测限更低,且分析更加准确,通常使用者比较关注微量元素或能谱区分不开的元素,且需要准确定量时会需要配备WDS。否则该设备价格更加昂贵,配备的比例相对EDS来说,更低。
另外,EBSD也是扫描电镜通常配备的附件,该设备主要检测样品中晶体的取向、结构、相分析等。比如在钢铁行业中使用时,使用者希望了解某加工过的钢材的织构及取向分布等时就会用到该设备。
至于价格,根据配置要求不同,而有所差别,具体还需要与不同厂家了解。