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扫描电镜（SEM/EDS）

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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：【求助】电镜问题请教！

浏览0 回复13 电梯直达

heimuya2005

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发表于：2008/02/20 15:27:32 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

最近公司选购扫描电镜，有好几家公司过来洽谈，那数据、性能看得我眼花缭乱，还请诸位高手指教一二！
1、分子泵、扩散泵的优缺点（价格相差不少啊!)
2、移动式物镜光阑与固定光阑的优缺点（FEI、Tescan为固定式；日立、日电为移动式）
3、电子枪偏压方式的优缺点（FEI：多极电子枪技术；日立：四偏压；日本电子：全自动无缝偏压；Tescan：中间镜技术（是否与FEI类似？）
4、最高分辨率下的工作距离（WD）：如3.0nm(30kv,wd=8mm与wd=5mm），这个有何差距？日立某一新款电镜其对能谱工作距离的要求是15mm，正常一般都是10mm，这在使用上有何？？
5、低真空下的观察有何要求，有何特性？FEI专门配置低真空用二次电子探头，认为这样可提高低真空观察的分辨率，请问这个意义有多大？
……………………
先请教这些，请诸位达人多多指教！
对于电镜选购还有什么意见也请不吝赐教！谢了先！

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2008/2/21 7:47:10 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

安裝及驗收

這個對你也許有點用﹗

杆の喷Μ

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kevean

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2008/2/23 15:47:05 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

从你的问题看来，应该是在选购钨灯丝扫描电镜。
个人认为你应该从自己的样品和需要的结果出发选购电镜。
各个厂家的电镜设计理念不同，但是所想达到的目的是一样的。建议你提供样品给各家测试，以最终结果和整个市场评价为主。

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heimuya2005

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2008/2/25 8:34:48 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢大家支持！

我们的研究对象有几个方面：
1、金属丝材，这些丝材中有很微小的掺杂物（无机物，如稀土氧化物等，主要尺寸约80nm）。
2、无机物粉末（不导电，有一定的挥发性）。
3、胶体

对于2、3，我想可能需要用到低真空条件。

不知诸位对于这些应用有何见解？

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dldldldl

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2008/2/25 9:27:14 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

从你的检测要求看，对电镜要求不高。能做低真空检测就能满足你的要求。工作距离是根据探测器的位置定的，如果只关心形貌就没有关系，不知你们配能谱否，老电镜开展成分分析最佳工作距离是25mm呢，当然样品室也相应的大了。你选的样品室应该比较小。仪器应该增加了在样品表面释放电子雾的功能，低真空二次电子探头可能是起到此作用，用来消除样品表面的核电效应。提高分辨本领。供参考。

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德国工兵

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2008/2/25 21:08:14 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

返修率，售后服务维护费用，都得考虑。
还有就是厂商承诺的指标要写道合同上，验收的时候严格按照合同执行。（很多口头承诺的指标最后都不能作为验收的指标）

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磨剪子嘞锵菜刀

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2008/2/27 18:50:58 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1、扩散泵震动小；但是存在对样品室和镜筒的污染；分子泵替代扩散泵是必然趋势，但是扩散泵油较高的价格优势。

2、光阑大小是决定图像景深的重要因素之一，同时也在很大程度上影响到电子束的束流大小，对分析工作有较大影响。如果您的应用领域侧重于某一方面单一光阑也是不错的考虑。

3、不同厂家的设计有不同的优劣，但是如果在样品室内加入电场，无疑会对磁性样品产生影响。

4、拍摄同样高放大倍率图像的工作距离越大越好，分析仪器的工作距离主要考虑你的样品（通常的样品大小、所需的放大倍率），X射线在样品上的分辨率约为一个微米，如果不是非常大的样品分析仪器的工作距离影响不大。

5、您要买场发射+低真空么？价格不菲啊！

电镜选购的小窍门：带齐各种样品每个厂家做一遍；然后看结果呗

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heimuya2005

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2008/2/28 11:39:09 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢楼上的回复！
我们拟购买的是钨灯丝扫描电镜，另加配能谱。
在此我把最近了解到的一些情况或认识上的一些推测与大家分享，并请指正！
1、油扩散泵无可动件，稳定性好，但需加冷却水，UPS，启动、关机需一定时间，油气可能污染探头，对于C、O的能谱分析产生较大影响。
分子泵使用简单，无需冷却水和UPS，启动、关机快，无污染，但一次投入价格贵些，涉及到润滑问题，可能有轴承的磨损，需防止粉尘的进入。某个厂家说一两年内就要做适当的维护。如果有出现换轴承等的需要，则费用不少。
2、物镜光阑孔径越大，分辨率越低，景深小，入射电子的数量多（束流大）。在低加速电压下，为增加样品激发，获得更多信号，使图像变亮，有时希望光阑孔径大些。但是操作时，如果光阑没有与电子束合轴，那么图像就挂了，主要是不清晰。光阑的合轴是个难题，没经验的人可能会在这一块饱受煎熬。不过采用移动式光阑的日系厂家都号称有自动合轴技术。FEI和TESCAN都采用固定光阑，不过它们的中间镜技术似乎也能实现类似于调节光阑孔径的效果（有待进一步了解）。
3、偏压技术可能主要应用于低加速电压场合，此时入射电子的动能较低，轰击试样后反馈回来的信号较弱，得到的图像较暗，不清晰。在不增加灯丝电流的条件下，通过条件栅极偏压，类似于对电子产生二次加速作用，可增强低加速电压下发射束流强度，即增加入射电子的能量，从而获得更多的激发信号，提高图像质量。对于这几个公司的技术细节我了解不多。请达人指教！
吃饭先，未完待续，请大家继续支持！

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磨剪子嘞锵菜刀

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2008/2/29 15:13:31 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1、分子泵的维护很简单，通常一年更换一次润滑油垫，熟练的操作几分钟就可以搞定，轴承的寿命请参照分子泵的寿命；

2、您把光阑的合轴想的太复杂了，新手一般两、三天就可以熟练掌握：如果有机会还是跟操作过电镜的人多了解一下才好；单一固定光阑图像质量也是不错的；

3、较高的加速电压有利于降低色差、提升图像质量；但是对不良导电体易产生荷电现象，同时较高电压容易“丢失”图像的细节；所以电镜厂家推出了“电压可变”的设计：电子束在镜筒内以较高的能量（电压）发射，在打在样品之前对其进行“减速”以达到降低电子能量的效果。但是对钨灯丝电镜有没有这种设计我不是很了解。希望对您有帮助。

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2008/3/3 14:08:59 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

现代的分子泵是不用维护的。
低真空下用钨丝电镜看80纳米是有困难的，建议购买低端热场发射的。

原文由 heimuya2005 发表:
谢谢楼上的回复！
我们拟购买的是钨灯丝扫描电镜，另加配能谱。
在此我把最近了解到的一些情况或认识上的一些推测与大家分享，并请指正！
1、油扩散泵无可动件，稳定性好，但需加冷却水，UPS，启动、关机需一定时间，油气可能污染探头，对于C、O的能谱分析产生较大影响。
分子泵使用简单，无需冷却水和UPS，启动、关机快，无污染，但一次投入价格贵些，涉及到润滑问题，可能有轴承的磨损，需防止粉尘的进入。某个厂家说一两年内就要做适当的维护。如果有出现换轴承等的需要，则费用不少。
2、物镜光阑孔径越大，分辨率越低，景深小，入射电子的数量多（束流大）。在低加速电压下，为增加样品激发，获得更多信号，使图像变亮，有时希望光阑孔径大些。但是操作时，如果光阑没有与电子束合轴，那么图像就挂了，主要是不清晰。光阑的合轴是个难题，没经验的人可能会在这一块饱受煎熬。不过采用移动式光阑的日系厂家都号称有自动合轴技术。FEI和TESCAN都采用固定光阑，不过它们的中间镜技术似乎也能实现类似于调节光阑孔径的效果（有待进一步了解）。
3、偏压技术可能主要应用于低加速电压场合，此时入射电子的动能较低，轰击试样后反馈回来的信号较弱，得到的图像较暗，不清晰。在不增加灯丝电流的条件下，通过条件栅极偏压，类似于对电子产生二次加速作用，可增强低加速电压下发射束流强度，即增加入射电子的能量，从而获得更多的激发信号，提高图像质量。对于这几个公司的技术细节我了解不多。请达人指教！
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