主题：【原创】EDS的工作距离

原文由 happydfli(happydfli) 发表:
在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时，要选择合适的工作距离，譬如做定量分析要求工作距离是5mm，请问这个5mm是什么意思，依靠什么定义出来的？如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了？

如果想要把eds的工作距离改到7mm，需要做什么仪器方面或软件方面的调整，谢谢？

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

原文由 happydfli(happydfli) 发表:
在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时，要选择合适的工作距离，譬如做定量分析要求工作距离是5mm，请问这个5mm是什么意思，依靠什么定义出来的？如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了？

如果想要把eds的工作距离改到7mm，需要做什么仪器方面或软件方面的调整，谢谢？

通过调整探测器的摇出位置来调整它的工作距离，当计数率最大时就是正确的位置。
是通过调整摇出距离来调整工作距离。当计数率最大时就是正确的位置。下面是示意图

原文由 驰奔(srd2009) 发表:

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

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在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时，要选择合适的工作距离，譬如做定量分析要求工作距离是5mm，请问这个5mm是什么意思，依靠什么定义出来的？如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了？

如果想要把eds的工作距离改到7mm，需要做什么仪器方面或软件方面的调整，谢谢？

通过调整探测器的摇出位置来调整它的工作距离，当计数率最大时就是正确的位置。
是通过调整摇出距离来调整工作距离。当计数率最大时就是正确的位置。下面是示意图

大部分用户使用固定工作距离，这样操作比较容易，但楼主提出的特殊需要可能有原因，事实上很多用户都会在不同的条件下进行分析。冯先生给出最根本原则的指导，体现出极高的专业素养，赞一个！
我简单补充一下专家认为大家都知道的:EDS定性分析不需要精确地给出探测器采集条件参数,但EDS定量分析，是靠采集的数据和标样比对, 一般标样库数据是在固定操作条件下采集的数据，针对探测器在不同型号电镜安装角度和探测距离，数据都要做相应修正。在EDS安装初始化时，厂家给你设定了最佳工作距离里为5mm，是默认的。如果你要改变工作距离，其实不光是工作距离，包括探测器远近，还有加速电压，探针束流值等条件都需要输入能谱采集条件的，程序会自动修正标准数据。这样你的定量分析结果才尽可能的准确。

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
下面是示意图：

原文由 happydfli(happydfli) 发表:
在用SEM佩戴的EDS做样品成分分析时，要选择合适的工作距离，譬如做定量分析要求工作距离是5mm，请问这个5mm是什么意思，依靠什么定义出来的？如果选用其它的工作距离是不是定量就不准确了？

如果想要把eds的工作距离改到7mm，需要做什么仪器方面或软件方面的调整，谢谢？