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主题：【求助】请问取断面的方法

浏览0 回复11 电梯直达
silvervb
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发表于：2010/05/14 14:04:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问各位前辈

我的试片是puretitanium sheet

pure titanium sheet上面有一层厚约 5 um 的titanium oxide

我要看的是puretitanium sheet和titaniumoxide的断面（crosssection）

请问各位，有什么好方法可以漂亮的取得断面吗？

我目前用的方法是先用wireEDM切断，之后做热镶埋（hotmount）

接着再抛光，完全遵守照晶相看晶粒的程序（没腐蚀）

但断面的SEM照片并无想象中完美

在镶埋材料与puretitanium sheet之间存在微小的裂缝

请问有更好的方法取得断面吗？谢谢大家。

titanium sheet





切片后观察方向



镶埋
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2010/5/14 15:22:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我是新来的，一起等高手指教吧。
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fengyonghe
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2010/5/14 19:10:14 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
任何抛光表面在扫描电镜下观察所呈现的图像，除了在成分上有很大区别第二项可以呈现灰度不同的图像之外，基本上都是灰色一片。因为二次电子像是形貌像，抛光表面无形貌特征。
“在镶埋材料与puretitanium sheet之间存在微小的裂缝”，是由于二者的硬度，和与抛光材料之间的摩擦力不相同使得镶埋材料或puretitanium sheet产生微小变形所致。
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wbslandy
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2010/6/13 21:57:23 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这么薄的样品你想用镶片磨,简直开玩笑.
1. 用FIB聚焦离子束切割;
2. 或者用CP
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春天的桃子
dct1983
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2010/6/14 18:32:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这样的样品前处理起来时比较的麻烦
要有专用的设备
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jackcong
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2010/6/15 9:25:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们有些样品的厚度就十分之一mm，也要照断面，
我们的做法很简单，可能不具代表性。
就是用剪刀斜向剪开，然后照断开处的图片。
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fly-fall
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2010/6/15 17:37:05 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wbslandy(wbslandy) 发表:
这么薄的样品你想用镶片磨,简直开玩笑.
1. 用FIB聚焦离子束切割;
2. 或者用CP

CP? Chemical polishing？CP的过程很复杂，而且不熟悉样品的话，不好控制抛光的进程，个人的一点意见。另外，楼主怎么知道是5um的Oxide？计算出来的？
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asahi42
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2010/8/21 20:54:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用离子切割吧，JEOL的叫CP，有09010和09020，日立的叫Ion Milling，有E-3500，还有GATAN的，楼主搜下再找个机会做做？
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ylbb
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2010/8/23 9:10:43 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
向我们的样品镀层一般只有20个微米左右，我们一般都是用剪刀或指甲剪直接剪开的，没什么问题。不过你的氧化钛可能会比较脆，直接用剪刀可能不行，试试看，不行可能就要用离子切割了。
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dullrobber
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2010/9/5 18:06:15 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
确实很难，还是请教专业人员吧
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lilaoshi
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2010/9/12 10:11:02 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有个简单的办法,图片就是Ti板上的TiO纳米管的截面照片
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