主题:【求助】请教:为什么圆形扫出来变成了椭圆形?

浏览0 回复12 电梯直达
chenliliu
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请教各位前辈:为什么圆形轮廓扫出来变成了椭圆形?图像扫出来都像是被拉长了,调整物镜光阑的x,y方向也作用不大,这该怎么办呢?
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大陆
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可能是您使用的那台显示器或软件对monitor的设置有问题,这就涉及不到扫描电镜的技术问题了,调整显示器的显示控制就能搞定。
如果确实是技术问题,请从以下几个方面考虑问题可能的原因,当然,如果希望别人能真正帮到您,能不能把图片贴出来看看:
图片整体在一个方向被压缩了还是局部被压缩?可能是软件引起的,如果整体的,通过图像处理程序可以修正。
图像噪音情况怎样?如果伴随噪音,而且局部变形,探测器可能亟待维护。
什么样品,如果确认不是以上两种原因,也有可能是样品各向异性引起的。
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Last edit by handsomeland
fermilin
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如果是tilt correction最好,进入电子束调整reset就好了;
不然就是电路板的问题,控制上下扫描线圈的板子故障。--可以检查一下这个功能模块的线路连接或触电有无松动,再不行就叫修了。
半个网客
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SEM过一段时期要用标样做尺度的calibration,是纵向和横向都要做的,我认为最大的可能性是没有做好。
半个网客
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要验证是不是尺度calibration的问题,拉一个纵向标尺,和拉一个横向标尺,马上就可以搞清楚了。
如果不是这个问题,那就是显示器的调整问题了,那就比较简单了。
bfm00
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huangai500w
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sch20042033
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chenliliu
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非常感谢大家的意见!
后来经过检查是电路板的问题,上面有一个线路接头的地方接触不好!具体的我现在还没搞清楚,到底是管哪一路信号的线
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