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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】JEOL的SPOTSIZE

浏览0 回复2 电梯直达
南郭先生
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发表于：2007/03/31 19:48:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问有谁知道JEOL的SPOTSIZE与probe diameter和probe current的关系是怎样的啊？
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南郭先生
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2007/4/12 20:53:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
JEOL的工程师能解答一下么？
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奔跑的蜗牛
chenjianfeng
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2007/9/10 22:15:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我个人的感觉是这个问题不大好回答，因为对于扫描电子显微镜来说，有两个量是不容易确定的，其中一个就是束斑的大小，另一个就是探针电流的大小，只能在一定程度上做个估算，束斑的大小和SEM的型号，加速电压的大小，工作距离的远近，以及所使用的束流大小都是有关系的，所以目前的数据一般都是基于理论计算所确定的，一般来讲，多数SEM FEG的最小束斑应该在1至2.5nm之间，取决于镜筒设计和发射源等因素，这会影响到SEM的分辨率。很少有厂家肯于公布这件事的，所以楼主只能自己去想办法查相关的文献看怎么计算，然后用法拉第杯和皮安计测一下探针电流，作一个相应的估算了，当然最终的结果不会很准的，另个一个做法就是看分辨率能达到什么样，也可以间接推测一下分辨率了，当然我并不认为知道这个指标对SEM的使用有多大的用处。
要说关系的话，只能比较笼统地说一下，探针电流越大，束斑越大。
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