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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】请教扫描电镜和超声电镜的分辨率

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newaero
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发表于：2006/11/23 21:45:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
现在的超声电镜据说可以达到100A的分辨率.而扫描电镜最大可以达到多少啊?
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2006/11/27 17:16:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM 3.0nm是极限了，热场FE-SEM可以到2.5nm~2.0nm.冷场的分辨率更好，不过可以装配的附件就少了。
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renxin
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2006/11/27 17:33:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 annelugel 发表:
SEM 3.0nm是极限了，热场FE-SEM可以到2.5nm~2.0nm.冷场的分辨率更好，不过可以装配的附件就少了。

信息过时了，热场扫描电镜的分辨率已经突破一纳米了。
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