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扫描电镜（SEM/EDS）

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仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

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主题：[请教+讨论] 大家用SEM 观测到的薄膜样品的断面结构是什么样子的？

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cxlruzhou

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发表于：2006/05/31 14:24:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点，而观测薄膜的断面

相对来说需要细致的制备和观测，特别对于多层薄膜的断面观测。

想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子？也可以说，薄膜

的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。

请大家谈谈自己的看法吧

（可根据实际测试的和文章中发表的sem

images）

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cxlruzhou

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2006/5/31 19:25:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我先上传一张Cross-section SEM image, 以供鉴赏。很喜欢这张照片，确实照得很不错，此图为thin film Si solar cell 器件的整个剖面图(光电子器件)。

借此抛砖引玉，期待大家发表意见，讨论交流。

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ustbedu

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2006/6/2 21:48:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你的薄膜厚度是多少？

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cxlruzhou

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2006/6/3 11:39:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ustbedu 发表:
你的薄膜厚度是多少？

薄膜厚度你可参考图中标尺。。。

断层SEM图片说明：
这张图是生长在玻璃衬底上多层薄膜，最上面一小薄层是ZnO, 中间比较厚整层（6薄层构成）的是solar cell 的芯片，结构为p-i-n(a-Si)/p-i-n(uc-Si),下面一层是SnO2。

另外，这幅图的制样很有特色。

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liwanchun993

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2006/6/3 22:25:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

好漂亮的照片啊
薄膜的生长方式很清楚啊

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superb2005

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2006/6/20 9:13:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请问是如何制样的？

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xiaoshuai4860

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2006/6/20 14:48:00 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看到高手的图，很是兴奋！！

我的NiTi合金上搞的膜，但NiTi合金韧性比较好，不容易折断，线切割等又破坏了表面，请问高手怎么制样

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cxlruzhou

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2006/6/27 19:31:00 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

这个不是我们自己的样品，听说IMT做了好多次才做出来的。

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天蓝蓝_sl

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2013/5/8 21:53:56 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 cxlruzhou(cxlruzhou) 发表:

SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点，而观测薄膜的断面

相对来说需要细致的制备和观测，特别对于多层薄膜的断面观测。

想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子？也可以说，薄膜

的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。

请大家谈谈自己的看法吧（可根据实际测试的和文章中发表的sem

images）

我也是这个问题，我也用SEM看断面，但是效果也不太好，我们是金属钽层上镀一层氧化膜，高手问下怎么制样好。我的邮箱是775447721@qq.com，你现在怎么处理的，能告诉下我吗？

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asahi42

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2013/5/8 22:17:35 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 天蓝蓝_sl(v2726462) 发表:
原文由 cxlruzhou(cxlruzhou) 发表:

SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点，而观测薄膜的断面

相对来说需要细致的制备和观测，特别对于多层薄膜的断面观测。

想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子？也可以说，薄膜

的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。

请大家谈谈自己的看法吧（可根据实际测试的和文章中发表的sem

images）
我也是这个问题，我也用SEM看断面，但是效果也不太好，我们是金属钽层上镀一层氧化膜，高手问下怎么制样好。我的邮箱是775447721@qq.com，你现在怎么处理的，能告诉下我吗？