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主题：【求助】电镜里面的冷却系统？

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fengyinqiao
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发表于：2014/07/18 11:05:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天有人问我电镜里面是不是有水冷或液氮制冷的系统，不是能谱，第一次听说，兄弟姐妹们知道的，介绍介绍！

谢谢！
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2014/7/19 0:39:58 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
水冷制冷这个还真没听说过。液氮制冷那就是低温氮气制冷的冷台了。
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fengyonghe
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2014/7/19 2:12:38 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是真空系统工作时需要冷却，基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置，但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。
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2014/7/19 4:15:00 Last edit by fengyonghe
gao007007
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2014/7/20 7:30:36 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
场发射电镜的物镜（电磁透镜型）需要水冷，如果配冷阱则为液氮制冷
扩散泵（目前很少使用了）需要液氮制冷
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2014/7/21 8:41:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 制样师(liuzhikakashi) 发表:

水冷制冷这个还真没听说过。液氮制冷那就是低温氮气制冷的冷台了。


谢谢！不是配件，是硬件！
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fengyinqiao
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2014/7/21 8:44:30 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

是真空系统工作时需要冷却，基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置，但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。


一级泵我们用的机械泵；二级离子泵我见工程师拆过，没有看到冷却装置。
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2014/7/21 8:46:29 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gao007007(gao007007) 发表:
场发射电镜的物镜（电磁透镜型）需要水冷，如果配冷阱则为液氮制冷
扩散泵（目前很少使用了）需要液氮制冷



物镜需要水冷，那只是在物镜内循环，还是要通到镜筒外面循坏呢？

谢谢！
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2014/7/21 14:32:04 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyinqiao(fengyinqiao) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

是真空系统工作时需要冷却，基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置，但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。


一级泵我们用的机械泵；二级离子泵我见工程师拆过，没有看到冷却装置。


二级泵是分子泵，三级泵是离子泵。
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fengyinqiao
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2014/7/21 17:26:15 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
原文由 fengyinqiao(fengyinqiao) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

是真空系统工作时需要冷却，基本采用水冷。扩散泵、离子泵需要冷却。离子泵有的还设有液氮冷却装置，但很少用。采用磁悬浮的分子泵不需冷却。


一级泵我们用的机械泵；二级离子泵我见工程师拆过，没有看到冷却装置。


二级泵是分子泵，三级泵是离子泵。


不好意思，说错了！
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m2921742
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2016/8/5 22:54:37 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
二级泵是分子泵，三级泵是离子泵。


离子泵也分几极的，他应该说的是 二极离子泵 就是最简单的两级
泵级分粗 中 高
机械泵是粗抽 分子泵 离子泵都是高泵
机械泵给分子泵提供前级，分子泵给离子泵提供前级
但是分子泵离子泵都属于高泵
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m2921742
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2016/8/5 22:57:32 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散泵水冷，分子泵也有水冷的
但是一般会在抽气口加入水阱或者冷阱，一是获得更好真空和抑制返油
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