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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】SEM不能量测尺寸

浏览0 回复11 电梯直达

seal007

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发表于：2008/03/13 13:29:45 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我用的是JEOL5600的机器，最近忽然发现不能使用测量尺寸的功能了，请师傅指教一下！

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2008/3/13 14:25:31 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

得向电子公司询问。

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大陆

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2008/3/13 15:22:34 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

软件的问题吧，应该不严重，因为测量尺寸的软件很多，比如ps。

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rennyann

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2008/3/14 10:18:53 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你要是现在想将就用的话，我给你出个主意：

在SEM图像中，都有一个标尺的，显示一个比例尺；你可以根据图片上的像素来进行测量
比如标尺的前后两个端点的坐标是（x1，y1）（x2，y2），那么你就可以得到一个像素距离，这个像素距离对应着一个尺寸（就是比例尺显示的数值），如2um，10um了等等，这样，你就可以得到一个像素是多长

然后，你在图像中选定你关心的区域的两个点，用同样的办法来确定下来这两个点之间的像素距离，乘以上面得到的单位像素长，你就能得到距离了

呵呵，这种办法就是太慢，不过，我想，软件也应该就是通过这种方法来计算的吧

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compare

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2008/3/14 12:23:30 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

仪器有自带的软件，使用前是否询问一下工程师它们的使用方法，有时候是很有技巧的

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半个网客

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2008/4/7 5:22:55 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

光用软件是不行的,要用一个标准样来校准.没有SEM的标准样,用一个光栅也行.

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guanjun19860820

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2008/4/7 17:04:42 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我和你有一样问题!
我们保持交流!

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jeolzxj

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2008/4/7 21:24:21 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

把TXT文件丢了。

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半个网客

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2008/4/7 23:56:46 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 rennyann 发表:
你要是现在想将就用的话，我给你出个主意：

在SEM图像中，都有一个标尺的，显示一个比例尺；你可以根据图片上的像素来进行测量
比如标尺的前后两个端点的坐标是（x1，y1）（x2，y2），那么你就可以得到一个像素距离，这个像素距离对应着一个尺寸（就是比例尺显示的数值），如2um，10um了等等，这样，你就可以得到一个像素是多长

然后，你在图像中选定你关心的区域的两个点，用同样的办法来确定下来这两个点之间的像素距离，乘以上面得到的单位像素长，你就能得到距离了

呵呵，这种办法就是太慢，不过，我想，软件也应该就是通过这种方法来计算的吧

=================================================

在用这个办法或者用引入标尺的方法之前，一定要进行校准。而校准就一定要用一个长度标样。SEM的标样不一定每台机器都带有的。找一个长度已知的样品，用软件中的校准手续，很快就可以用精确的引入标尺来测算尺寸了。

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