微型传感器中的应变仪具有金属的应变效应，即在外力作用下的机械变形，因此电阻值相应地改变。应变仪主要是金属和半导体。金属应变仪是线型、箔型、薄膜型。半导体应变片具有高灵敏度（通常是线型、箔型的几十倍）、的小横向效应。
压阻式微型传感器是根据半导体材料的压阻效应通过半导体材料的衬底上的扩散电阻制造的器件。衬底可以直接用作测量传感元件，并且扩散电阻器在衬底中以桥的形式连接。当基板通过外力变形时，电阻值将改变，并且电桥将产生相应的不平衡输出。
用作压阻式微型传感器的基板（或隔膜）主要由硅晶片和钽制成。由敏感材料制成的硅压阻传感器受到越来越多的关注，特别是在测量压力时。并且固态压阻式微型传感器应用的速度是通用的。
微型传感器的滞后特性表征前进（输入增加）和反向（输入增加）冲程输入特性曲线之间的不一致程度。通常，使用两条曲线之间的较大差ΔMAX。满量程输出F·S的百分比表示滞后可能是由微型传感器内部元件中的能量吸收引起的。
微型传感器变化很大，甚至不同工作原理的微型传感器也可用于相同类型的测量。因此，必须使用合适的传感器。
（1）微型传感器的测量条件
如果错误选择微型传感器，系统的可靠性将会降低。为此，从系统的整体考虑，要清楚地了解使用目的和使用传感器的需要，永远不要使用不合适的微型传感器和不必要的传感器。测量条件如下：测量目的，测量量的选择，测量范围，输入信号的带宽，所需的精度，测量所需的时间以及过量输入的发生频率。
（2）微型传感器性能
选择微型传感器时，请考虑传感器的以下特性，即精度，稳定性，响应速度，模拟信号或数字号，输出及其电平，被测物体特性的影响，校准周期以及过度 - 反保护。
（3）微型传感器的使用条件
微型传感器的使用条件是设定位置，环境（湿度、温度、振动等），测量时间，显示器之间的信号传输距离，与外围设备的连接，电源容量。
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