实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8070103今日发帖：21 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
新手上路
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】特气控制面板的设置

浏览0 回复2 电梯直达
小盖谈气路
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2019/09/11 14:29:20 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
特气控制面板的设置
特气输送面板是气源部分非常重要的控制单元。一般工艺气体从钢瓶出来，经过高压控制盘面时，都实现了一次调压、过滤、流量稳定、吹扫、抽真空、压力侦测等功能。不同的气体和工艺需求，可以根据实际情况定制具体功能。现阶段，越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等设备进行芯片镀膜、刻蚀方面的研究，这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体，对于气源的控制要求非常高，也给供气面板提出了很多要求。
设计参考：
自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；
气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面 板应设有过流开关；
自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；
气体面板应设置工艺气体排气口。
可燃性特气柜设计参考：
硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H，且气柜的负压应连续监控；自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统；自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。
  输送控制面板的设计对于整个供气系统的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用，在设计初期，业主需要将工艺、要求等提供给设计院作为设计依据，同时，在建设周期，有必要参考相应的规范将要求落实到施工当中去。
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
zyl3367898
zyl3367898
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2019/9/11 16:52:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个内容不是求助的内容。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
zal
zal
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2019/9/11 18:23:47 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢分享
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 特气控制面板的设置
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁